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题名: 面向半导体设备的Interface A通信方法研究
其他题名: Research on communication method of interface a for semiconductor equipment
作者: 叶家发 ; 刘明哲
作者部门: 工业控制网络与系统研究室
关键词: 半导体设备 ; Interface A ; 数据采集 ; 工厂自动化
刊名: 机械设计与制造
ISSN号: 1001-3997
出版日期: 2012
期号: 5, 页码:273-275
产权排序: 1
摘要: 针对半导体设备工厂自动化的设备数据采集需求,给出了一种基于Interface A标准的通信方法,该方法构造了设备的通用模型,设计了设备通信的安全认证和授权机制,并给出了采集设备实时数据的方法,可满足工厂自动化系统对半导体设备的数据采集和设备控制需求。
英文摘要: According to the requirement of equipment data acquisition of semiconductor manufacturing equipment in the factory automation,this paper present a communication solution based on SEMI Interface A standards.The method,constructing the common equipment model of semiconductor equipment,designing secure authentication and authorization mechanisms,and giving way to real-time data acquisition,would meet the requirement of equipment data acquisition and control for semiconductor equipment in the factory automation. 
语种: 中文
内容类型: 期刊论文
URI标识: http://ir.sia.cn/handle/173321/10078
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面向半导体设备的InterfaceA通信方法研究.pdf(229KB)----开放获取View Download

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叶家发; 刘明哲.面向半导体设备的Interface A通信方法研究,机械设计与制造,2012,(5):273-275
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