SIA OpenIR  > 工业控制网络与系统研究室
Research and implementation of the interface a data collection management
Ye JF(叶家发); Liu MZ(刘明哲); Wang YN(王亚楠)
作者部门工业控制网络与系统研究室
会议名称2012 2nd International Conference on Consumer Electronics, Communications and Networks, CECNet 2012
会议日期April 21-23, 2012
会议地点Yichang, China
会议录名称2012 2nd International Conference on Consumer Electronics, Communications and Networks (CECNet)
出版者IEEE
出版地New York, USA
2012
页码1996-1999
收录类别EI
EI收录号20122415104438
产权排序1
ISBN号978-1-4577-1415-3
关键词Semiconductor Equipment Factory Automation Interface a Data Collection
摘要According to the requirement of equipment data acquisition of semiconductor manufacturing equipment in the factory automation, this paper presents a new method to acquire the equipment data, which is based on the SEMI Interface A for data collection management. The method defines how to collect the information which we need through the use of a named data collection plan. The testing results show that the method meets the requirement of equipment data acquisition in the factory automation.
语种英语
文献类型会议论文
条目标识符http://ir.sia.cn/handle/173321/10243
专题工业控制网络与系统研究室
作者单位1.Graduate University, Chinese Academy of Sciences, Beijing, China
2.Shenyang Institute of Automation Chinese Academy of Sciences, Shenyang, China
推荐引用方式
GB/T 7714
Ye JF,Liu MZ,Wang YN. Research and implementation of the interface a data collection management[C]. New York, USA:IEEE,2012:1996-1999.
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