中国科学院沈阳自动化研究所机构知识库
Advanced  
SIA OpenIR  > 信息服务与智能控制技术研究室  > 期刊论文
题名: 基于模糊模型的CMP过程智能R2R预测控制方法
其他题名: Fuzzy Model Based Intelligent R2R Predictive Control to CMP Process
作者: 王亮 ; 胡静涛
作者部门: 信息服务与智能控制技术研究室
关键词: 化学机械研磨 ; T-S模糊模型 ; 批次控制 ; 预测控制 ; 克隆选择
刊名: 计算机测量与控制
ISSN号: 1671-4598
出版日期: 2012
卷号: 20, 期号:6, 页码:1558-1561
收录类别: CSCD
产权排序: 1
摘要: 针对化学机械研磨(CMP)过程非线性、时变和产品质量不易在线测量的特性,提出了一种基于T-S模糊模型的CMP过程智能run-to-run(R2R)预测控制器FIPR2R;通过G-K聚类算法和最小二乘法对CMP过程的T-S模糊预测模型离线辨识,解决了复杂CMP过程难以建立精确数学模型的难题和提高了模型预测精度;通过双指数加权移动平均(dEWMA)中对过程扰动及漂移进行估计的方法实现反馈校正和基于克隆选择算法的滚动优化求取最优控制律,提高了控制精度;性能分析结果表明,FIPR2R控制器的控制性能优于dEWMA方法,有效抑制了过程扰动和漂移的影响。
英文摘要: For chemical mechanical polishing (CMP) process characteristics of nonlinear,time-varying and not being in-situ measured easily,a CMP process intelligent run-to-run (R2R) predictive controller named FIPR2R is proposed.CMP process T-S fuzzy predictive model off-line identified by G-K clustering algorithms and least squares method solves difficult problem of constructing accurate mathematical model of complicated CMP and reduces model error.Feedback correction is achieved from disturbances and drifts estimate...
语种: 中文
Citation statistics:
内容类型: 期刊论文
URI标识: http://ir.sia.cn/handle/173321/10326
Appears in Collections:信息服务与智能控制技术研究室_期刊论文

Files in This Item: Download All
File Name/ File Size Content Type Version Access License
基于模糊模型的CMP过程智能R2R预测控制方法.pdf(1700KB)----开放获取View Download
Service
Recommend this item
Sava as my favorate item
Show this item's statistics
Export Endnote File
Google Scholar
Similar articles in Google Scholar
[王亮]'s Articles
[胡静涛]'s Articles
CSDL cross search
Similar articles in CSDL Cross Search
[王亮]‘s Articles
[胡静涛]‘s Articles
Related Copyright Policies
Null
Social Bookmarking
Add to CiteULike Add to Connotea Add to Del.icio.us Add to Digg Add to Reddit
文件名: 基于模糊模型的CMP过程智能R2R预测控制方法.pdf
格式: Adobe PDF
所有评论 (0)
暂无评论
 
评注功能仅针对注册用户开放,请您登录
您对该条目有什么异议,请填写以下表单,管理员会尽快联系您。
内 容:
Email:  *
单位:
验证码:   刷新
您在IR的使用过程中有什么好的想法或者建议可以反馈给我们。
标 题:
 *
内 容:
Email:  *
验证码:   刷新

Items in IR are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.

 

 

Valid XHTML 1.0!
Copyright © 2007-2016  中国科学院沈阳自动化研究所 - Feedback
Powered by CSpace