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Implementation of Transmission and Control Platform for Equipment Front End Module of Semiconductor Production System
其他题名半导体制造设备前端模块的传输控制平台化实现方法
Yu HB(于海斌); Xu AD(徐皑冬); Zhang JL(张吉龙); Liu MZ(刘明哲); Hu JT(胡静涛); Li Z(李正)
所属部门工业控制网络与系统研究室
专利权人SHENYANG INSTITUTE OF AUTOMATION, CHINESE ACADEMY OF SCIENCES
授权国家美国
专利类型发明
专利状态公开
摘要A method of platformization of an equipment front end module of a semiconductor production system includes the steps of: establishing a subsystem management module, a communication interface module, a parse module, and a network communication module directing the command by the communication interface module to the subsystem management module analyzing the command by the subsystem management module and sending the command to the corresponding subsystem module sending the command from the corresponding subsystem module to the controller of the equipment front end module through the network communication module and analyzing message by the parse module, sending a feedback to the corresponding subsystem module, and then sending the feedback to the control system of the semiconductor production system through the communication interface module. The present invention provides a standardized software interface to standardize different IC equipment control systems and to enhance the production efficiency of the system.
优先权数据cn20101616602
PCT属性
申请日期2011-03-28
2012-07-05
申请号US201113072791
公开(公告)号US2012173011A1
语种英语
产权排序1
文献类型专利
条目标识符http://ir.sia.cn/handle/173321/12862
专题工业控制网络与系统研究室
作者单位SHENYANG INSTITUTE OF AUTOMATION, CHINESE ACADEMY OF SCIENCES
推荐引用方式
GB/T 7714
Yu HB,Xu AD,Zhang JL,et al. Implementation of Transmission and Control Platform for Equipment Front End Module of Semiconductor Production System[P]. 2012-07-05.
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