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专利名称: 基于纳米扫描探针形变的微作用力建模方法
其他题名: Micro acting force modeling method based on deformation of nano scanning probe
作者: 席宁; 董再励; 田孝军; 刘连庆; 焦念东
所属部门: 机器人学研究室
专利权人: 中国科学院沈阳自动化研究所
专利代理: 沈阳科苑专利商标代理有限公司
专利国别: 中国
专利类型: 发明
专利状态: 失效
摘要: 本发明公开一种基于纳米扫描探针形变的微作用力建模方法。本发明是当扫描探针与样品表面接触时,通过光电传感器采集扫描探针的悬臂梁在受力作用下发生偏转及扭转形变信号,形变信号通过光电传感器输出信号计算模型产生一个与悬臂梁的形变有对应关系的输出信号,得出作用在悬臂梁上力的一个度量,即悬臂梁梁形变在参考坐标系中的变化量;再通过动力学分析方法,实现在纳米操作条件下计算作用扫描探针上的微作用力。本发明建立了宏观世界与微观世界的桥梁,使得在纳米环境下的操作如同在宏观世界中的操作,为进行复杂、灵活的纳米操作及相关技术的发展开辟了新的技术途径。
英文摘要: The invention discloses a micro applied force forming method based on the nanometer scanning probe modification. When the scanning probe touches the surface of the sample, it uses photoelectric pickup to gather the modification signal when the outrigger of the scanning probe is forced to generate twist the modification signal generates an output signal which has the corresponding relation with the outrigger by the photoelectric pickup output signal computing mold to obtain a gauge on the outrigger which is the changing value of the outrigger deformation it uses dynamic analysis method to achieve the computing of the micro force of the scanning probe on manometer operating condition.
优先权数据: CN20041050540
是否PCT专利:
申请日期: 2004-09-30
公开日期: 2006-04-05
授权日期: 2013-10-15
专利申请号: CN200410050540.7
公布/公告号: CN1755345A
语种: 中文
产权排序: 1
内容类型: 专利
URI标识: http://ir.sia.cn/handle/173321/13603
Appears in Collections:机器人学研究室_专利

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席宁,董再励,田孝军,等. 基于纳米扫描探针形变的微作用力建模方法. CN1755345A. 2006.
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