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基于碳纳米管-电极结构的温度传感器芯片
其他题名Carbon nanotube-electrode structure-based temperature sensor chip
董再励; 于海波; 王越超; 田孝军; 曲艳丽; 李文荣
所属部门机器人学研究室
专利权人中国科学院沈阳自动化研究所
专利代理人沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002
授权国家中国
专利类型发明
专利状态视为撤回
摘要本发明公开一种基于碳纳米管-电极结构的温度传感器芯片,包括基底、碳纳米管、电极,所述电极成对设置在基底上,所述碳纳米管与所述的一对电极间电连接。碳纳米管具有良好的导热性,并且金属性碳纳米管的电阻率会随温度的变化而发生改变。利用碳纳米管电阻率随温度变化的性质,本专利提出了一种能够利用碳纳米管-电极作为温度传感单元的具有低能耗、高灵敏度的传感器芯片结构,该传感器芯片在2mm×2mm的区域内集成了8个独立温度传感单元。所述温度传感器芯片结构,可以利用介电泳技术实现碳纳米管在微电极阵列上的装配,形成碳纳米管-金属电极的温度传感单元,并最终形成碳纳米管温度传感器。
其他摘要The invention discloses a carbon nanotube-electrode structure-based temperature sensor chip. The temperature sensor chip comprises a base, carbon nanotubes and electrodes, wherein the electrodes are arranged on the base in pair the carbon nanotubes are electrically connected with the pair of electrodes and have high heat conductivity and the resistivity of the metal carbon nanotubes varies along with temperature variation. By using the characteristic that the resistivity of the carbon nanotubes varies along with the temperature variation, the invention provides an energy-efficient and high-flexibility sensor chip structure in which carbon nanotube-electrodes can be used as temperature sensing units and the sensor chip integrates eight independent temperature sensing units in a region of 2mm*2mm. In the temperature sensor chip structure, the assembly of the carbon nanotubes on a microelectrode array can be realized by an electrophoresis technology to form the temperature sensing units of the carbon nanotube-metal electrodes and finally form the carbon nanotube temperature sensor.
PCT属性
申请日期2009-12-23
2011-06-29
授权日期2013-10-15
申请号CN200910248670.4
公开(公告)号CN102109386A
语种中文
产权排序1
文献类型专利
条目标识符http://ir.sia.cn/handle/173321/13727
专题机器人学研究室
作者单位中国科学院沈阳自动化研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
董再励,于海波,王越超,等. 基于碳纳米管-电极结构的温度传感器芯片[P]. 2011-06-29.
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