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专利名称: 基于AFM的纳米沟道加工方法
其他题名: AFM (Atomic Force Microscopy)-based processing method of nanometer channel
作者: 焦念东; 王志迁; 董再励
所属部门: 机器人学研究室
专利权人: 中国科学院沈阳自动化研究所
专利代理: 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002
专利国别: 中国
专利类型: 发明
专利状态: 有效
摘要: 本发明公开一种基于AFM的纳米沟道加工方法。通过控制AFM探针的伸长距离、探针运动速度及路径,实现在二氧化硅基底上加工出特定深度和宽度的纳米沟道。本发明的纳米沟道加工方法可应用于微流控芯片制造中,通过纳米沟道实现对沟道内流体特性及生物单分子的特性分析。
英文摘要: The invention discloses an AFM (Atomic Force Microscopy)-based processing method of a nanometer channel. The nanometer channel with a specific depth and width is processed on a silicon dioxide substrate by controlling the elongation distance, the motion speed and the path of an AFM probe. The processing method of the nanometer channel, disclosed by the invention, can be applied to manufacture of a micro-fluidic chip and the fluid characteristic in the nanometer channel and the characteristic analysis of biological single molecules are achieved by using the nanometer channel.
是否PCT专利:
申请日期: 2010-04-02
公开日期: 2011-10-12
授权日期: 2013-09-18
专利申请号: CN201010138121.4
公布/公告号: CN102211754A
语种: 中文
产权排序: 1
内容类型: 专利
URI标识: http://ir.sia.cn/handle/173321/13748
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焦念东,王志迁,董再励. 基于AFM的纳米沟道加工方法. CN102211754A. 2011.
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