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基于AFM的纳米级电极加工方法
其他题名Nanoscale electrode processing method based on AFM (atomic force microscopy)
焦念东; 王志迁; 董再励
所属部门机器人学研究室
专利权人中国科学院沈阳自动化研究所
专利代理人沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002
授权国家中国
专利类型发明
专利状态未缴年费
摘要本发明公开一种基于AFM的纳米级电极加工方法,通过控制AFM探针与样本作用力、探针运动路径及速度对微米级电极进行切割加工,实现电极前端宽度100纳米以内的纳米级电极的加工,增加其在纳流控测试中的检测精度及灵敏度。本发明的纳米级电极加工方法可应用于纳流控芯片中对纳米沟道内流体特性及生物单分子进行高灵敏度检测分析。
其他摘要The invention discloses a nanoscale electrode processing method based on an AFM (atomic force microscopy). According to the method, a micrometer level electrode is cut and processed through the controlling on the action force of an AFM probe on a sample and the movement path and speed of the probe, thus the processing of the nanoscale electrode of which a front end has width within100 nanometers is realized, and the detection accuracy and flexibility in a nano fluidic test are increased. The nanoscale electrode processing method provided by the invention can be applied to high-flexibility detection and analysis of the fluid characteristics of fluid in a nano channel in the nano fluidic chip and biology monomolecules.
PCT属性
申请日期2010-04-02
2011-10-12
授权日期2014-02-12
申请号CN201010138122.9
公开(公告)号CN102211755A
语种中文
产权排序1
文献类型专利
条目标识符http://ir.sia.cn/handle/173321/13749
专题机器人学研究室
作者单位中国科学院沈阳自动化研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
焦念东,王志迁,董再励. 基于AFM的纳米级电极加工方法[P]. 2011-10-12.
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