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一种基于模型的压电陶瓷扫描器迟滞性前馈校正方法
其他题名Model-based hysteresis feed-forward correction method of piezoelectric ceramic scanner
董再励; 王栋; 周磊; 刘柱; 黄富强; 焦念东
所属部门机器人学研究室
专利权人中国科学院沈阳自动化研究所
专利代理人沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002
授权国家中国
专利类型发明
专利状态驳回
摘要本发明涉及一种压电陶瓷扫描器迟滞性前馈校正方法,包括以下步骤:使用电容位移传感器测量压电陶瓷扫描器在线性输入电压下的响应数据;对压电陶瓷扫描器的迟滞性建立数学模型;根据上述测量得到响应数据识别数学模型参数,根据数学模型参数求取逆模型的参数,建立逆模型;将逆模型的输出作为压电陶瓷扫描器的输入,对压电陶瓷扫描器进行线性化处理,完成压电陶瓷扫描器迟滞性前馈校正。本发明方法能够得到解析逆解,可以更加真实的反应扫描样本的形貌,通用性好、精确度高,具有非常重要的意义。
其他摘要The invention relates to a model-based hysteresis feed-forward correction method of a piezoelectric ceramic scanner. The method comprises the following steps that: a capacitive displacement transducer is used to measure response data of a piezoelectric ceramic scanner under a linear input voltage a mathematical model is established for hysteresis of the piezoelectric ceramic scanner according to the response data obtained by the measurement, a mathematical model parameter is identified, and on the basis of the mathematical model parameter, a parameter of an inverse model is solved so as to establish the inverse model and an output of the inverse model is used an input of the piezoelectric ceramic scanner as well as linear processing is carried out on the piezoelectric ceramic scanner, so that hysteresis feed-forward correction of the piezoelectric ceramic scanner is completed. According to the method provide in the invention, analytical inverse solution is obtained and morphology of a scanning sample can be reflected really and moreover, the method has advantages of good generality and high precision therefore, the method has an important significance.
PCT属性
申请日期2010-12-04
2012-06-06
申请号CN201010574143.5
公开(公告)号CN102486477A
语种中文
产权排序1
文献类型专利
条目标识符http://ir.sia.cn/handle/173321/13769
专题机器人学研究室
作者单位中国科学院沈阳自动化研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
董再励,王栋,周磊,等. 一种基于模型的压电陶瓷扫描器迟滞性前馈校正方法[P]. 2012-06-06.
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