中国科学院沈阳自动化研究所机构知识库
Advanced  
SIA OpenIR  > 工业信息学研究室  > 专利
专利名称: 基于SEMI标准的SECS通信方法
其他题名: SECS communicating method based on SEMI standard
作者: 于海斌; 王宏; 林跃; 徐皑冬; 周建辉; 康凯; 刘明哲; 王水涛
所属部门: 工业信息学研究室
专利权人: 沈阳中科博微自动化技术有限公司 ; 中国科学院沈阳自动化研究所
专利代理: 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002
专利国别: 中国
专利类型: 发明授权
专利状态: 有效
摘要: 本发明属于网络通信技术,具体地说是一种基于SEMI标准的SECS通信方法。包括HSMS通信模块实现设备到主机的连接,并通过网络进行数据传输步骤;及通过SECS协议模块进行SECS?II编解码,实施数据收集、设备控制和异常处理步骤。采用本发明可实现半导体工厂的自动化管理,能够满足半导体器件制造过程中的高真空、高洁度、高无尘等特性要求,可使不同的设备控制系统标准化、提高生产效率、降低生产成本。
英文摘要: The invention belongs to the network communication technology, in particular to a SECS communicating method based on SEMI standard. The method comprises the following steps of: realizing the connection of equipment to a host by an HSMS communication module and carrying out data transmission by a network; carrying out SECS II coding and decoding by an SECS protocol module and realizing data collection, equipment control and exception handling. The communicating method adopted can realize automatic management of a semiconductor factory, can meet characteristic requirements of high vacuum, high cleanness, high dustless, and the like in the manufacturing process of semiconductors, can standardize different equipment control systems, improve production efficiency and reduce production cost.[
是否PCT专利:
申请日期: 2008-04-03
公开日期: 2009-10-07
授权日期: 2011-12-14
专利申请号: CN200810010912.1
公布/公告号: CN101552794B
语种: 中文
产权排序: 1
内容类型: 专利
URI标识: http://ir.sia.cn/handle/173321/14251
Appears in Collections:工业信息学研究室_专利

Files in This Item: Download All
File Name/ File Size Content Type Version Access License
CN200810010912.1授权.pdf(473KB)专利--开放获取View Download

Recommended Citation:
于海斌,王宏,林跃,等. 基于SEMI标准的SECS通信方法. CN101552794B. 2009.
Service
Recommend this item
Sava as my favorate item
Show this item's statistics
Export Endnote File
Google Scholar
Similar articles in Google Scholar
[于海斌]'s Articles
[王宏]'s Articles
[林跃]'s Articles
CSDL cross search
Similar articles in CSDL Cross Search
[于海斌]‘s Articles
[王宏]‘s Articles
[林跃]‘s Articles
Related Copyright Policies
Null
Social Bookmarking
Add to CiteULike Add to Connotea Add to Del.icio.us Add to Digg Add to Reddit
文件名: CN200810010912.1授权.pdf
格式: Adobe PDF
所有评论 (0)
暂无评论
 
评注功能仅针对注册用户开放,请您登录
您对该条目有什么异议,请填写以下表单,管理员会尽快联系您。
内 容:
Email:  *
单位:
验证码:   刷新
您在IR的使用过程中有什么好的想法或者建议可以反馈给我们。
标 题:
 *
内 容:
Email:  *
验证码:   刷新

Items in IR are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.

 

 

Valid XHTML 1.0!
Copyright © 2007-2016  中国科学院沈阳自动化研究所 - Feedback
Powered by CSpace