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一种面向纳米观测与操作的样品无损逼近方法及实现装置
其他题名Sample nondestructive approach method and implementation device facing to nano collimation and operation
缪磊; 周磊; 董再励; 刘柱; 王越超
所属部门机器人学研究室
专利权人中国科学院沈阳自动化研究所
专利代理人沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002
授权国家中国
专利类型发明授权
专利状态未缴年费
摘要本发明公开一种面向纳米观测与操作的样品无损逼近方法。它通过控制样品相对于探针进行微米级的初调运动及纳米级的精密运动,经检测反射激光光斑的位置变化信号的反馈控制步骤,通过检测样品逼近探针产生原子力作用时产生的光电检测信息进行反馈控制,达到控制样品无损逼近探针的目的。采用本发明可以避免碰撞逼近所造成的探针或样品损伤。
其他摘要The invention discloses a sample nondestructive approximation method regarding nanometer observation and operation. A sample is controlled to do nanometer level initial adjustment movement relative to a probe and to do nanometer level precise movement. After undergoing the feedback control step of checking position variation signal of a reflected laser spot, the aim of controlling the sample to approach the probe without damage is achieved through carrying out feedback control of checking the photoelectric detection signal produced when the sample approaches the probe and generates an atomic force action. The invention can avoid probe or sample damage caused by collision approximation.
PCT属性
申请日期2006-12-22
2008-06-25
授权日期2011-02-02
申请号CN200610134977.8
公开(公告)号CN101206170B
语种中文
产权排序1
文献类型专利
条目标识符http://ir.sia.cn/handle/173321/14506
专题机器人学研究室
作者单位中国科学院沈阳自动化研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
缪磊,周磊,董再励,等. 一种面向纳米观测与操作的样品无损逼近方法及实现装置[P]. 2008-06-25.
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