SIA OpenIR  > 机器人学研究室
基于AFM的纳米沟道加工方法
其他题名AFM (Atomic Force Microscopy)-based processing method of nanometer channel
焦念东; 王志迁; 董再励
所属部门机器人学研究室
专利权人中国科学院沈阳自动化研究所
专利代理人沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002
授权国家中国
专利类型发明授权
专利状态未缴年费
摘要本发明公开一种基于AFM的纳米沟道加工方法。通过控制AFM探针的伸长距离、探针运动速度及路径,实现在二氧化硅基底上加工出特定深度和宽度的纳米沟道。本发明的纳米沟道加工方法可应用于微流控芯片制造中,通过纳米沟道实现对沟道内流体特性及生物单分子的特性分析。
其他摘要The invention discloses an AFM (Atomic Force Microscopy)-based processing method of a nanometer channel. The nanometer channel with a specific depth and width is processed on a silicon dioxide substrate by controlling the elongation distance, the motion speed and the path of an AFM probe. The processing method of the nanometer channel, disclosed by the invention, can be applied to manufacture of a micro-fluidic chip and the fluid characteristic in the nanometer channel and the characteristic analysis of biological single molecules are achieved by using the nanometer channel.
PCT属性
申请日期2010-04-02
2011-10-12
授权日期2013-09-18
申请号CN201010138121.4
公开(公告)号CN102211754B
语种中文
产权排序1
文献类型专利
条目标识符http://ir.sia.cn/handle/173321/14551
专题机器人学研究室
作者单位中国科学院沈阳自动化研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
焦念东,王志迁,董再励. 基于AFM的纳米沟道加工方法[P]. 2011-10-12.
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