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Overview of micro-force sensing methods
Ma CZ(马超哲); Du JS(杜劲松); Liu YY(刘意杨); Chu YK(褚云凯)
作者部门智能检测与装备研究室
会议名称2013 International Conference on Mechatronics and Information Technology, ICMIT 2013
会议日期October 19-20, 2013
会议地点Guilin, China
会议主办者Korea Maritime University; Inha University; Hong Kong Industrial Technology Research Centre
会议录名称Applied Mechanics and Materials
出版者Trans Tech Publications
出版地Zurich-Durnten, Switzerland
2013
页码25-31
收录类别EI ; CPCI(ISTP)
EI收录号20140117159569
WOS记录号WOS:000336871700006
产权排序1
ISSN号1660-9336
ISBN号978-3-03785-941-4
关键词Information Technology Micromachining Processing
摘要At present, reliable micro-force sensing is one of the most important research for micromanipulation and micro-assembly. Six kinds of methods to detect micro-force are described in this paper. Analysis of the basic principle and detection accuracy of each sensing method, and applications in micro-assembly and micromanipulation are briefly introduced. The purpose of this paper is to be useful to provide some references for scholars engaging in the micro-force sensing, which in turn promotes automatic processing level of micro-assembly and micromanipulation to reliably manufacture micro devices of high quality.
语种英语
引用统计
文献类型会议论文
条目标识符http://ir.sia.cn/handle/173321/14564
专题智能检测与装备研究室
推荐引用方式
GB/T 7714
Ma CZ,Du JS,Liu YY,et al. Overview of micro-force sensing methods[C]//Korea Maritime University; Inha University; Hong Kong Industrial Technology Research Centre. Zurich-Durnten, Switzerland:Trans Tech Publications,2013:25-31.
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