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题名: 机器人化微纳操作研究进展
其他题名: Research progress of robotics based micro/nano-manipulation
作者: 袁帅 ; 王越超 ; 席宁 ; 于海波 ; 焦念东 ; 于鹏 ; 刘连庆
作者部门: 机器人学研究室
关键词: 纳米操作 ; 原子力显微镜 ; 探针定位 ; 虚拟夹具
刊名: 科学通报
ISSN号: 0023-074X
出版日期: 2013
卷号: 58, 期号:S2, 页码:28-39
产权排序: 1
摘要: 微纳操作技术是在微/纳米尺度上制造具有特定功能结构与器件的方法,该技术获得广泛的关注和研究.本文阐述了微纳操作的概念、意义,介绍微纳操作的相关技术,以基于原子力显微镜(AFM)的机器人化微纳操作技术为重点,回顾AFM微纳操作的发展历程,探讨AFM探针定位与操作等关键技术问题,并提出相应的解决方案,最后对当前微纳操作中关注的几个关键技术问题进行了展望.
英文摘要: Micro/nano-nanomanipulation technology is fabricating particular constructs and devices at micro/nano-scale, and has attracted wide attention and research. The paper represents the conception and significance of nano-manipuations, introduces the relevant technologies, reviews the research progress of atomic force microscopy (AFM) based nano-manipulation by focusing on the robotics based micro/nano-manipulation, discusses the critical techniques such as AFM based tip positioning and nanomanipulation, then proposes corresponding solutions, and finally prospects several concerned key techniques.
语种: 中文
内容类型: 期刊论文
URI标识: http://ir.sia.cn/handle/173321/14690
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袁帅;王越超;席宁;于海波;焦念东;于鹏;刘连庆.机器人化微纳操作研究进展,科学通报,2013,58(S2):28-39
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