SIA OpenIR  > 工业控制网络与系统研究室
Implementation of a customizable GUI software platform for IC equipment
Wang CX(王晨曦); Liu MZ(刘明哲); Xu AD(徐皑冬)
作者部门工业控制网络与系统研究室
会议名称2014 International Conference on Measurement, Instrumentation and Automation
会议日期April 23-24, 2014
会议地点Shanghai, China
会议录名称Applied Mechanics and Materials
出版者Trans Tech Publications Ltd
出版地Zurich-Durnten, Switzerland
2014
页码1455-1458
收录类别EI
EI收录号20142717908583
产权排序1
ISSN号1660-9336
ISBN号978-3-03835-138-2
关键词Semiconductor Device Manufacture Silicon Wafers
摘要With the development of semiconductor industry, different types of wafer processing are increasing. According to the different wafer processing models, the need of data display and process is different. In this paper, a customizable software platform is described for the manufacturing equipment of semiconductor integrated circuit (IC equipment). The C# control technology has been used to build the IC equipment customizable control system interface. The development method of customizable control technology based on C# can realize the control of the reuse and codes sharing, in order to improve programming efficiency, avoid the development of two times, cost saving and be easy to debug.
语种英语
文献类型会议论文
条目标识符http://ir.sia.cn/handle/173321/15038
专题工业控制网络与系统研究室
作者单位Shenyang institute of Automation Chinese Academy of Sciences, Shenyang, China
推荐引用方式
GB/T 7714
Wang CX,Liu MZ,Xu AD. Implementation of a customizable GUI software platform for IC equipment[C]. Zurich-Durnten, Switzerland:Trans Tech Publications Ltd,2014:1455-1458.
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文件名: Implementation of a customizable GUI software platform for IC equipment.pdf
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