SIA OpenIR  > 机器人学研究室
一种用于原子力显微镜的扫描探针夹持装置
其他题名Scanning probe clamping device for atomic force microscope
于鹏; 刘柱; 周磊; 杨洋; 王栋; 刘连庆; 焦念东
所属部门机器人学研究室
专利权人中国科学院沈阳自动化研究所
专利代理人沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002
授权国家中国
专利类型实用新型
专利状态避重放弃
摘要本实用新型涉及一种用于原子力显微镜的扫描探针夹持装置,包括固定夹具、探针夹连接器、探针夹;所述探针夹连接器固定于固定夹具上,并与探针夹连接。本实用新型探针夹体积小、质量轻,能够固定到压电陶瓷驱动器上,可以应用于倒置式原子力显微镜扫描头的结构设计中;能够实现探针夹的快速装卸、探针的快速安装和固定,以及为探针提供纳米级位移的振动。
其他摘要The utility model relates to a scanning probe clamping device for atomic force microscope; the device comprises a fixed clamp, a probe clamping connector, and a probe clamp; the probe clamping connector is fixed to the fixed clamp and is connected to the probe clamp. The device of the utility model is small in size and light in weight; it can be secured to a piezoelectric ceramic driver and can be applied to a reversed-type atomic force microscope scanning head. The clamping device is able to realize the fast detachment of a probe clamp, the fast mounting and fixing of a probe and the vibration of Nano grade provided to the probe.
PCT属性
申请日期2014-05-20
2014-09-10
授权日期2014-09-10
申请号CN201420259994.4
公开(公告)号CN203825035U
语种中文
产权排序1
文献类型专利
条目标识符http://ir.sia.cn/handle/173321/15601
专题机器人学研究室
作者单位中国科学院沈阳自动化研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
于鹏,刘柱,周磊,等. 一种用于原子力显微镜的扫描探针夹持装置[P]. 2014-09-10.
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