SIA OpenIR  > 机器人学研究室
原子力显微镜针尖基底微小距离控制方法
其他题名Atomic force microscope tip substrate tiny distance control method
焦念东; 刘增磊; 王越超; 刘连庆
所属部门机器人学研究室
专利权人中国科学院沈阳自动化研究所
专利代理人沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002
授权国家中国
专利类型发明
专利状态视为撤回
摘要本发明公开一种原子力显微镜(AFM)针尖基底距离控制的方法。调节针尖与基底接触并且压力为零,以此状态作为初始状态;控制压电陶瓷收缩,带动探针向上运动,使AFM探针的针尖离开基底,所述针尖和基底表面的水膜形成液桥,通过调节AFM的压电陶瓷的伸缩使AFM探针的悬梁臂发生相应程度的形变;根据悬梁臂发生的形变计算针尖和基底的距离。该方法利用空气中物体表面广泛存在的水膜的吸附作用力,实现针尖距离基底的微小变化的调节。该方法可用于纳米沉积加工等需要针尖距离基底很近的场合。
其他摘要The invention discloses an atomic force microscope (AFM) tip substrate distance control method. A tip is adjusted to be in contact with a substrate and the pressure is zero, and the state at the time is used as an initial state. Piezoelectric ceramic is controlled to shrink, a probe is driven to move upward, thus the tip of an AFM probe leaves the substrate, a liquid bridge is formed by the tip and the water film at the surface of the substrate, and through adjusting the expansion and retraction of the piezoelectric ceramic of an AFM, the cantilever arm of the AFM probe is deformed to a corresponding level. The distance between the tip and the substrate is calculated through the deformation of the cantilever arm. According to the method, by using the adsorption force of the water film existing widely at an object surface in the air, the adjustment of the tiny change of the distance between the tip and the substrate is realized. The method can be used in an occasion with a close distance between the tip and the substrate such as nano deposition processing.
PCT属性
申请日期2013-07-25
2015-02-11
申请号CN201310317582.1
公开(公告)号CN104345739A
语种中文
产权排序1
文献类型专利
条目标识符http://ir.sia.cn/handle/173321/16008
专题机器人学研究室
作者单位中国科学院沈阳自动化研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
焦念东,刘增磊,王越超,等. 原子力显微镜针尖基底微小距离控制方法[P]. 2015-02-11.
条目包含的文件 下载所有文件
文件名称/大小 文献类型 版本类型 开放类型 使用许可
CN201310317582.1.pdf(1609KB)专利 开放获取CC BY-NC-SA浏览 下载
个性服务
推荐该条目
保存到收藏夹
查看访问统计
导出为Endnote文件
谷歌学术
谷歌学术中相似的文章
[焦念东]的文章
[刘增磊]的文章
[王越超]的文章
百度学术
百度学术中相似的文章
[焦念东]的文章
[刘增磊]的文章
[王越超]的文章
必应学术
必应学术中相似的文章
[焦念东]的文章
[刘增磊]的文章
[王越超]的文章
相关权益政策
暂无数据
收藏/分享
文件名: CN201310317582.1.pdf
格式: Adobe PDF
所有评论 (0)
暂无评论
 

除非特别说明,本系统中所有内容都受版权保护,并保留所有权利。