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一种用于原子力显微镜的扫描探针夹持装置
其他题名Scanning probe clamping device for atomic force microscope
于鹏; 刘柱; 周磊; 杨洋; 王栋; 刘连庆; 焦念东
所属部门机器人学研究室
专利权人中国科学院沈阳自动化研究所
专利代理人沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002
授权国家中国
专利类型发明
专利状态有权
摘要本发明涉及一种用于原子力显微镜的扫描探针夹持装置,包括固定夹具、探针夹连接器、探针夹;所述探针夹连接器固定于固定夹具上,并与探针夹连接。本发明探针夹体积小、质量轻,能够固定到压电陶瓷驱动器上,可以应用于倒置式原子力显微镜扫描头的结构设计中;能够实现探针夹的快速装卸、探针的快速安装和固定,以及为探针提供纳米级位移的振动。
其他摘要The invention relates to a scanning probe clamping device for atomic force microscope; the device comprises a fixed clamp, a probe clamping connector, and a probe clamp; the probe clamping connector is fixed to the fixed clamp and is connected to the probe clamp. The device of the invention is small in size and light in weight; it can be secured to a piezoelectric ceramic driver and can be applied to a reversed-type atomic force microscope scanning head. The clamping device is able to realize the fast detachment of a probe clamp, the fast mounting and fixing of a probe and the vibration of Nano grade provided to the probe.
PCT属性
申请日期2014-05-20
2015-11-25
授权日期2018-01-02
申请号CN201410214080.0
公开(公告)号CN105092900A
语种中文
产权排序1
文献类型专利
条目标识符http://ir.sia.cn/handle/173321/17296
专题机器人学研究室
作者单位中国科学院沈阳自动化研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
于鹏,刘柱,周磊,等. 一种用于原子力显微镜的扫描探针夹持装置[P]. 2015-11-25.
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