一种快速无模板的图形化电极制作方法

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	一种快速无模板的图形化电极制作方法
其他题名	Quick template-free patterned electrode manufacturing method
	刘连庆; 刘娜; 李文荣; 王越超; 于海波; 董再励
所属部门	机器人学研究室
专利权人	中国科学院沈阳自动化研究所
专利代理人	沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002
授权国家	中国
专利类型	发明
专利状态	实审
摘要	本发明涉及一种快速无模板的图形化电极制作方法，包括以下步骤：在计算机内制作光斑图形；将图形经投影仪投影在芯片上形成光斑；信号发生器发出交流信号给芯片通电；在光斑和通电的双重作用下设定时间内，芯片内的光敏材料基地上形成金属电极。本发明利用金属离子在虚拟电极表面能被还原吸附的特点，可以通过控制照在非晶硅层光斑的形状控制金属沉积的区域形状，制作出各种图案。利用这种微图形制作方法，可以不需要物理模板，直接根据所需的电路结构和形状设计光斑即可得到所需的电路。
其他摘要	The invention relates to a quick template-free patterned electrode manufacturing method comprising the following steps: a light spot pattern is made in a computer; the pattern is projected on a chip through a projector to form a light spot; a signal generator generates an alternating-current signal to electrify the chip; and under the double action of the light spot and electrification, a metal electrode is formed on a photosensitive material base in the chip within a set period of time. According to the invention, based on the fact that metal ions can be reduced and absorbed on the surface of a virtual electrode, the shape of a metal deposition area can be controlled by controlling the shape of the light spot shining on an amorphous silicon layer, so as to manufacture a variety of patterns. By using the micro pattern manufacturing method, no physical template is needed, and a needed circuit can be obtained by designing the light spot directly according to the needed circuit structure and shape.
PCT属性	否
申请日期	2014-08-26
	2016-03-30
申请号	CN201410424509.9
公开（公告）号	CN105448695A
语种	中文
产权排序	1
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.sia.cn/handle/173321/18567
专题	机器人学研究室
作者单位	中国科学院沈阳自动化研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	刘连庆,刘娜,李文荣,等. 一种快速无模板的图形化电极制作方法[P]. 2016-03-30.

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CN201410424509.9.pdf（1373KB）	专利		开放获取	CC BY-NC-SA	浏览下载