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专利名称: 一种SICM的幅度调制成像模式扫描装置和方法
作者: 刘连庆; 李鹏; 李广勇; 王越超; 杨洋; 周磊; 王栋
所属部门: 机器人学研究室
专利权人: 中国科学院沈阳自动化研究所
专利代理: 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002
专利国别: 中国
专利类型: 发明
专利状态: 公开
摘要: 本发明涉及一种SICM的幅度调制成像模式扫描装置,包括信号发生器、膜片钳放大器、有效值转换电路、控制器、探针、XY纳米平台和Z向纳米压电陶瓷;所述信号发生器、膜片钳放大器、有效值转换电路、控制器依次连接;方法包括:信号发生器输出交流信号到膜片钳放大器;调节膜片钳放大器的补偿电容值;有效值转换电路计算出电流幅值的有效值,并将幅值有效值反馈至控制器,控制器根据该幅值有效值实时控制探针高度,实现样品的扫描。本发明使用交流电流幅值作为反馈值,因此能克服直流模式下直流漂移、易受电气噪声影响等缺点;具有比传统交流模式更高的调制频率,可实现加快扫描的目的。
是否PCT专利:
申请日期: 2015-01-15
公开日期: 2016-08-10
专利申请号: CN201510023158.5
公布/公告号: CN105842484A
语种: 中文
产权排序: 1
内容类型: 专利
URI标识: http://ir.sia.cn/handle/173321/19061
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刘连庆,李鹏,李广勇,等. 一种SICM的幅度调制成像模式扫描装置和方法. CN105842484A. 2016.
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文件名: CN201510023158.5.pdf
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