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基于微透镜的三维超分辨率干涉仪
刘连庆; 王飞飞; 李文荣; 刘柱; 于鹏; 于海波
Department机器人学研究室
Rights Holder中国科学院沈阳自动化研究所
Patent Agent沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002
Country中国
Subtype发明
Status实审
Abstract本发明涉及一种基于微透镜的三维超分辨率干涉仪,包括干涉仪和微透镜。在干涉仪的物镜与样品间加入微透镜。在工作时将光学显微镜的工作平面聚焦到微透镜的像平面上,调节两个物镜的位置从而在微透镜区域产生干涉条纹,沿光轴扫描参考反射镜,并用相机记录下在扫描过程中所产生的包含干涉条纹的图像并发送至计算机保存、处理构建三维超分辨率图像。由于本发明在成像时对环境无特殊要求,无需对样品进行复杂的处理、标记,并且可以实现快速、非侵入、无损的三维超分辨率成像,因此在纳米成像领域具有重要的潜在应用,如集成电路(IC)的制造与检测。
PCT Attributes
Application Date2015-06-08
2017-01-04
Application NumberCN201510309193.3
Open (Notice) NumberCN106289048A
Language中文
Contribution Rank1
Document Type专利
Identifierhttp://ir.sia.cn/handle/173321/19737
Collection机器人学研究室
Affiliation中国科学院沈阳自动化研究所
Recommended Citation
GB/T 7714
刘连庆,王飞飞,李文荣,等. 基于微透镜的三维超分辨率干涉仪[P]. 2017-01-04.
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