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一种面向半导体工艺设备的故障诊断方法
于淼; 廖柯; 段彬; 里鹏; 胡国良
所属部门数字工厂研究室
专利权人中国科学院沈阳自动化研究所
专利代理人沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002
授权国家中国
专利类型发明
专利状态实审 权利转移
摘要本发明公开了一种面向半导体工艺设备的故障诊断方法,首先建立包括模糊规则库、推理机的专家系统;进一步的,针对半导体工艺设备实时监测参数进行模糊化处理,生成模糊事实;推理机基于模糊事实,通过与模糊规则库的交互来进行模糊推理,生成故障诊断结果;基于故障诊断结果的实际应用情况,进行面向模糊规则库的规则强度自学习修正。本发明基于rete算法进行模糊推理进而得出故障诊断结果,并充分结合实际故障诊断应用情况来进行模糊规则库的规则强度自学习修正,提高了半导体工艺设备故障诊断的精准水平和自动化水平,保障了半导体工艺的高效稳定运行。
PCT属性
申请日期2017-03-20
2017-07-04
申请号CN201710166248.9
公开(公告)号CN106919982A
语种中文
产权排序1
文献类型专利
条目标识符http://ir.sia.cn/handle/173321/20590
专题数字工厂研究室
作者单位中国科学院沈阳自动化研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
于淼,廖柯,段彬,等. 一种面向半导体工艺设备的故障诊断方法[P]. 2017-07-04.
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