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原子力显微镜纳米沉积加工温度仿真
其他题名Simulation of Temperature During Nano-Deposition Fabrication with Atomic Force Microscope
刘增磊; 高爱莲; 袁帅; 焦念东
作者部门机器人学研究室
关键词原子力显微镜 纳米焊接 纳米加工 温度仿真
发表期刊纳米技术与精密工程
ISSN1672-6030
2017
卷号15期号:4页码:267-272
收录类别CSCD
CSCD记录号CSCD:6060911
产权排序3
资助机构国家自然科学基金资助项目(61504072,61305125)
摘要原子力显微镜(atomic force microscope,AFM)纳米沉积加工是一种重要的纳米焊接手段,其加工机理存在场致蒸发和热致蒸发两种可能.为明确AFM沉积加工的机理,本文通过仿真研究了AFM纳米沉积加工过程中的温度变化,分析了加工电流的波形和空气介质对沉积的影响,并在此基础上建模,分别研究瞬态电流和稳态电流引起的温度变化.通过仿真发现,沉积中温度确有上升,但远没有达到引起热蒸发的程度.验证了AFM纳米沉积加工是基于场蒸发的原理.
其他摘要Nano-deposition fabrication with atomic force microscope(AFM) is an important technique for nano-welding. The AFM nano-deposition might be induced by either electric field or heat. To reveal the mechanism, this paper research the temperature variation during AFM nano-deposition. The effects of fabrication current waveform and air on deposition were analyzed, and a model was built on this basis to study the temperature variation caused by transient current and steady-state current respectively. It was found that temperature did rise in the process of deposition, but there was a long way before the temperature reached the value for heat-induced deposition. Therefore, it was testified that AFM nano-deposition fabrication was based on electric-field-induced deposition theory.
语种中文
引用统计
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.sia.cn/handle/173321/20983
专题机器人学研究室
通讯作者刘增磊
作者单位1.南阳理工学院电子与电气工程学院
2.沈阳建筑大学信息与控制工程学院
3.中国科学院沈阳自动化研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
刘增磊,高爱莲,袁帅,等. 原子力显微镜纳米沉积加工温度仿真[J]. 纳米技术与精密工程,2017,15(4):267-272.
APA 刘增磊,高爱莲,袁帅,&焦念东.(2017).原子力显微镜纳米沉积加工温度仿真.纳米技术与精密工程,15(4),267-272.
MLA 刘增磊,et al."原子力显微镜纳米沉积加工温度仿真".纳米技术与精密工程 15.4(2017):267-272.
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