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一种SICM的正交幅值扫描成像模式的装置和方法
刘连庆; 杨洋; 于鹏; 藤泽宇; 李鹏; 赵亮; 李广勇
所属部门机器人学研究室
专利权人中国科学院沈阳自动化研究所
专利代理人沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002
授权国家中国
专利类型发明
专利状态实审
摘要本发明涉及一种SICM的正交幅值扫描成像模式的装置和方法,装置包括:顺序连接的电压驱动单元、电流检测单元、机构执行单元;方法包括由信号发生器输出交流基准电压信号,通过膜片钳放大器加载到玻璃管电极上,同时,通过膜片钳放大器检测玻璃管电极中的电流值并转换为电压、放大输出到锁相放大器中,由锁相放大器检测与基准信号同频电压信号交流分量的幅值,并以此为反馈控制量通过调节探针的Z向位置实现探针针尖与样品的距离控制。本发明以交流信号的正交分量为反馈控制量,可以抑制信号漂移、电气噪声等影响;对比已有的交流模式,正交幅值成像模式可以采用更高频率的调制信号,因此可以同时满足加快扫描成像速度与提高扫描成像质量的需求。
PCT属性
申请日期2016-06-03
2017-12-12
申请号CN201610388978.9
公开(公告)号CN107462745A
语种中文
产权排序1
文献类型专利
条目标识符http://ir.sia.cn/handle/173321/21412
专题机器人学研究室
作者单位中国科学院沈阳自动化研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
刘连庆,杨洋,于鹏,等. 一种SICM的正交幅值扫描成像模式的装置和方法[P]. 2017-12-12.
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