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Snapshot multi-wavelength interference microscope
Tian, Xiaobo1; Tu, Xingzhou1; Zhang JC(张俊超)2; Spires, Oliver1; Brock, Neal3; Pau, Stanley1; Liang, Rongguang1
作者部门光电信息技术研究室
发表期刊Optics Express
ISSN1094-4087
2018
卷号26期号:14页码:18279-18291
收录类别SCI ; EI
EI收录号20182805532277
WOS记录号WOS:000438209100056
产权排序2
资助机构National Science Foundation (NSF) (1455630, 1607358) ; National Institutes of Health (NIH) (S10OD018061) ; and TRIF Space Exploration & Optical Sciences (SEOS).
摘要

A snapshot multi-wavelength interference microscope is proposed for high-speed measurement of large vertical range discontinuous microstructures and surface roughness. A polarization CMOS camera with a linear micro-polarizer array and Bayer filter accomplishes snapshot multi-wavelength phase-shifting measurement. Four interferograms with /2 phase shift are captured at each wavelength for phase measurement, the 2 ambiguities are removed by using two or three wavelengths.

语种英语
引用统计
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.sia.cn/handle/173321/22152
专题光电信息技术研究室
通讯作者Liang, Rongguang
作者单位1.College of Optics Science, University of Arizona, Tucson, AZ 85721, United States
2.Shenyang Institute of Automation, Chinese Academy of Sciences, Shenyang 110016, China
3.4D Technology Corporation, Tucson AZ 85706, United States
推荐引用方式
GB/T 7714
Tian, Xiaobo,Tu, Xingzhou,Zhang JC,et al. Snapshot multi-wavelength interference microscope[J]. Optics Express,2018,26(14):18279-18291.
APA Tian, Xiaobo.,Tu, Xingzhou.,Zhang JC.,Spires, Oliver.,Brock, Neal.,...&Liang, Rongguang.(2018).Snapshot multi-wavelength interference microscope.Optics Express,26(14),18279-18291.
MLA Tian, Xiaobo,et al."Snapshot multi-wavelength interference microscope".Optics Express 26.14(2018):18279-18291.
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