SIA OpenIR  > 工业控制网络与系统研究室
激光诱导击穿光谱微区分析的研究应用进展
其他题名Progress in Research and Application of Micro-laser-induced Breakdown Spectroscopy
孙兰香1,2,3; 汪为1,2,3,4; 田雪咏5; 张鹏1,2,3,4; 齐立峰1,2,3; 郑黎明1,2,3
作者部门工业控制网络与系统研究室
关键词激光诱导击穿光谱 微区分析 烧蚀弹坑 偏析 评述
发表期刊分析化学
ISSN0253-3820
2018
卷号46期号:10页码:1518-1527
产权排序1
资助机构国家重点研发计划项目(2017YFF0106202) ; 国家自然科学基金项目(61473279) ; 中国科学院前沿科学重点研究计划项目(QYZDJ-SSW-JSC037) ; 中国科学院青年创新促进会项目
摘要激光诱导击穿光谱微区分析通常是指利用紧聚焦激光束在微米尺度范围对样品表面进行分析的技术。相比于常规激光诱导击穿光谱分析,微区分析可以在更小范围、更少样品的情况下提供更加被分析样品丰富的形态、结构、含量信息,因而应用领域广泛。本文介绍了激光诱导击穿光谱微区分析在激光源选择以及光路系统结构方面的应用状况,综述了其在金属、半导体、动植物等领域的应用研究进展,讨论了目前存在的问题,对发展前景和发展方向进行了展望。
其他摘要The technique of micro-laser-induced breakdown spectroscopy usually refers to analyzing the surface of the sample using a compact focused laser beam in the optical microscope range. Compared to macrolaser- induced breakdown spectroscopy,it can provide more abundant form,structure,and content information in a smaller,less sample condition. Hence,the application field is very wide. In this paper,the basic status of micro-laser-induced breakdown spectroscopy in the selection of laser source and the structure of optical path system were introduced,and its application in metal,semiconductor,animal and plant fields was reviewed. The existing issues and potential development direction were also pointed out.
语种中文
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.sia.cn/handle/173321/23340
专题工业控制网络与系统研究室
通讯作者孙兰香
作者单位1.中国科学院沈阳自动化研究所
2.中国科学院机器人与智能制造创新研究院
3.中国科学院网络化控制系统重点实验室
4.中国科学院大学
5.新松机器人自动化股份有限公司中央研究院
推荐引用方式
GB/T 7714
孙兰香,汪为,田雪咏,等. 激光诱导击穿光谱微区分析的研究应用进展[J]. 分析化学,2018,46(10):1518-1527.
APA 孙兰香,汪为,田雪咏,张鹏,齐立峰,&郑黎明.(2018).激光诱导击穿光谱微区分析的研究应用进展.分析化学,46(10),1518-1527.
MLA 孙兰香,et al."激光诱导击穿光谱微区分析的研究应用进展".分析化学 46.10(2018):1518-1527.
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