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一种基于差分降噪的SICM电压调制成像装置和方法
刘连庆; 滕泽宇; 杨洋; 于鹏; 杨铁; 李广勇
Department机器人学研究室
Rights Holder中国科学院沈阳自动化研究所
Patent Agent沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002
Country中国
Subtype发明
Status公开
Abstract本发明涉及一种基于差分降噪的SICM电压调制成像装置和方法,装置包括电压驱动单元、电流检测单元、信号调制单元、反馈控制单元、机构执行单元;方法包括:信号发生器产生两路同频交流电压,一路连接到膜片钳放大器作为驱动电压,另一路连接到锁相放大器作为参考电压;通过膜片钳放大器进行电容补偿;将一路与参考信号同频同相位的调制电压连接到锁相放大器进行反馈信号调制;计算得到新的电流设定值;锁相放大器将提取的电流分量反馈给控制器,控制探针与样品的距离,记录下探针及样品相对位移的轨迹,完成图像扫描。本发明通过对反馈信号进行调制,可增加驱动电压的幅值,提高系统信噪比,进而可以达到提高SICM系统Z向分辨率和扫描速度的目的。
PCT Attributes
Application Date2017-08-07
2019-02-26
Application NumberCN201710665557.0
Open (Notice) NumberCN109387670A
Language中文
Contribution Rank1
Document Type专利
Identifierhttp://ir.sia.cn/handle/173321/24194
Collection机器人学研究室
Affiliation中国科学院沈阳自动化研究所
Recommended Citation
GB/T 7714
刘连庆,滕泽宇,杨洋,等. 一种基于差分降噪的SICM电压调制成像装置和方法[P]. 2019-02-26.
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