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题名:
基于原子力显微镜的阳极氧化技术及其在碳纳米管氧化切割与焊接中的应用
其他题名: AFM based anodic oxidation and its application to oxidative cutting and welding of CNT actuator
作者: 焦念东; 王越超; 席宁; 董再励
作者部门: 机器人学研究室
通讯作者: 焦念东
关键词: 阳极氧化 ; 原子力显微镜 ; 纳米加工 ; 切割与焊接 ; 碳纳米管
刊名: 中国科学(E辑:技术科学)
ISSN号: 1006-9275
出版日期: 2009
卷号: 39, 期号:9, 页码:1614-1622
收录类别: CSCD
CSCD记录号: CSCD:3654889
产权排序: 1
摘要: 探针阳极氧化是构建纳米结构,制造纳米器件的重要技术之一,本文对该技术中基于原子力显微镜(AFM)的阳极氧化进行了新的研究.通过对氧化加工中微观电场在基底表面分布情况进行模拟,分析了氧化结构的特征与电场分布的关系,通过实验研究分析了不同加工因素对氧化加工的影响.在这些研究基础上利用AFM阳极氧化技术实现了对碳纳米管(CNT)的氧化切割及焊接,为CNT基纳米器件的装配及制备提供了新的技术途径。
语种: 中文
Citation statistics:
内容类型: 期刊论文
URI标识: http://ir.sia.cn/handle/173321/2455
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作者单位: 1.中国科学院沈阳自动化研究所机器人学国家重点实验室
2.美国密歇根州立大学电子与计算机工程系

Recommended Citation:
焦念东,王越超,席宁,等. 基于原子力显微镜的阳极氧化技术及其在碳纳米管氧化切割与焊接中的应用[J]. 中国科学(E辑:技术科学),2009,39(9):1614-1622.
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