| 一种柔性微电极的制造方法 | |
刘连庆 ; 于海波; 关涛; 刘娜; 李盼
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| Department | 机器人学研究室 |
| Rights Holder | 中国科学院沈阳自动化研究所 |
| Patent Agent | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 |
| Country | 中国 |
| Subtype | 发明 |
| Status | 公开 |
| Abstract | 本发明公开了一种柔性微电极的制造方法，属于柔性器件制造技术领域。该方法首先使用基于光诱导电化学方法沉积制造微电极，再将电极转移至PDMS柔性基底。本发明利用聚二甲基硅氧烷(PDMS)的粘附力，通过恒温加热，将使用光诱导电化学沉积制造的微电极从氢化非晶硅芯片基底转印至柔性PDMS基底，并使用晶元探针台测试出转印电极的电特性曲线。利用这种柔性微电极制造方法，可以制作出覆盖在柔性基底的微米尺度电极，本发明提出的新型柔性微电极制造方法，未来有望在柔性传感器、可穿戴电子器件等领域获得应用。 |
| PCT Attributes | 否 |
| Application Date | 2017-12-28 |
| 2019-07-05 | |
| Application Number | CN201711459178.2 |
| Open (Notice) Number | CN109970023A |
| Language | 中文 |
| Contribution Rank | 1 |
| Document Type | 专利 |
| Identifier | http://ir.sia.cn/handle/173321/24994 |
| Collection | 机器人学研究室 |
| Affiliation | 中国科学院沈阳自动化研究所 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 刘连庆,于海波,关涛,等. 一种柔性微电极的制造方法[P]. 2019-07-05. |
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| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| CN201711459178.2.pdf（916KB） | 专利 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | View Download | ||
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