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一种柔性微电极的制造方法
刘连庆; 于海波; 关涛; 刘娜; 李盼
Department机器人学研究室
Rights Holder中国科学院沈阳自动化研究所
Patent Agent沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002
Country中国
Subtype发明
Status公开
Abstract本发明公开了一种柔性微电极的制造方法,属于柔性器件制造技术领域。该方法首先使用基于光诱导电化学方法沉积制造微电极,再将电极转移至PDMS柔性基底。本发明利用聚二甲基硅氧烷(PDMS)的粘附力,通过恒温加热,将使用光诱导电化学沉积制造的微电极从氢化非晶硅芯片基底转印至柔性PDMS基底,并使用晶元探针台测试出转印电极的电特性曲线。利用这种柔性微电极制造方法,可以制作出覆盖在柔性基底的微米尺度电极,本发明提出的新型柔性微电极制造方法,未来有望在柔性传感器、可穿戴电子器件等领域获得应用。
PCT Attributes
Application Date2017-12-28
2019-07-05
Application NumberCN201711459178.2
Open (Notice) NumberCN109970023A
Language中文
Contribution Rank1
Document Type专利
Identifierhttp://ir.sia.cn/handle/173321/24994
Collection机器人学研究室
Affiliation中国科学院沈阳自动化研究所
Recommended Citation
GB/T 7714
刘连庆,于海波,关涛,等. 一种柔性微电极的制造方法[P]. 2019-07-05.
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