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一种基于二维反馈控制的AFM三维测量方法
刘连庆; 于鹏; 刘柱; 吴森; 杨洋; 马骏驰
Department机器人学研究室
Rights Holder中国科学院沈阳自动化研究所
Patent Agent沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002
Country中国
Subtype发明
Status公开
Abstract本发明涉及一种基于二维反馈控制的AFM三维测量方法。包括以下实现方法:通过二维反馈控制方法让探针的反馈运动方向与水平成一角度,使得探针针尖能够沿着侧壁方向进行逐点触碰扫描,从而实现侧壁形貌点的信息采集;通过探针爬壁轨迹控制方法实现探针向上爬壁和向下爬壁两种运动轨迹;通过基于先验知识的反馈角度预测方法判断侧壁位置,从而可以预测反馈控制方向角度。本发明改变了传统AFM仅在垂直于样品水平面方向进行反馈控制的成像模式,能够对类沟槽形状的纳米结构进行精确三维形貌测量,为半导体芯片、MEMS等微纳结构三维参数测量提供了有效的技术手段。
PCT Attributes
Application Date2018-01-24
2019-07-30
Application NumberCN201810067144.7
Open (Notice) NumberCN110068707A
Language中文
Contribution Rank1
Document Type专利
Identifierhttp://ir.sia.cn/handle/173321/25354
Collection机器人学研究室
Affiliation中国科学院沈阳自动化研究所
Recommended Citation
GB/T 7714
刘连庆,于鹏,刘柱,等. 一种基于二维反馈控制的AFM三维测量方法[P]. 2019-07-30.
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