基于原子力显微镜技术的峰值力轻敲与扭转共振复合方法 | |
刘连庆![]() ![]() ![]() | |
Department | 机器人学研究室 |
Rights Holder | 中国科学院沈阳自动化研究所 |
Patent Agent | 21002 沈阳科苑专利商标代理有限公司 |
Country | 中国 |
Subtype | 发明 |
Status | 公开 |
Abstract | 本发明涉及基于原子力显微镜技术的峰值力轻敲与扭转共振复合方法。使用峰值力轻敲模式(Peak Force Tapping mode)和扭转共振模式(Torsional Resonance mode)的复合模式来进行成像和样本物性测量及表征,利用峰值力轻敲模式控制针尖与样品之间的相互作用,在峰值力轻敲模式工作的同时利用转共振模式测量样品横向物理特性。本发明弥补了扭转共振模式对样品有特殊要求的缺陷,也解决了扭转共振模式下针尖与样品的垂直相互作用力大的问题。 |
PCT Attributes | 否 |
Application Date | 2019-11-18 |
2020-02-07 | |
Application Number | CN201911125440.9 |
Open (Notice) Number | CN110763873A |
Language | 中文 |
Contribution Rank | 1 |
Document Type | 专利 |
Identifier | http://ir.sia.cn/handle/173321/26269 |
Collection | 机器人学研究室 |
Affiliation | 中国科学院沈阳自动化研究所 |
Recommended Citation GB/T 7714 | 刘连庆,施佳林,于鹏,等. 基于原子力显微镜技术的峰值力轻敲与扭转共振复合方法[P]. 2020-02-07. |
Files in This Item: | ||||||
File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
CN201911125440.9.pdf(1792KB) | 专利 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | View Application Full Text |
Items in the repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.
Edit Comment