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基于原子力显微镜技术的峰值力轻敲与扭转共振复合方法
刘连庆; 施佳林; 于鹏; 苏全民
Department机器人学研究室
Rights Holder中国科学院沈阳自动化研究所
Patent Agent21002 沈阳科苑专利商标代理有限公司
Country中国
Subtype发明
Status公开
Abstract本发明涉及基于原子力显微镜技术的峰值力轻敲与扭转共振复合方法。使用峰值力轻敲模式(Peak Force Tapping mode)和扭转共振模式(Torsional Resonance mode)的复合模式来进行成像和样本物性测量及表征,利用峰值力轻敲模式控制针尖与样品之间的相互作用,在峰值力轻敲模式工作的同时利用转共振模式测量样品横向物理特性。本发明弥补了扭转共振模式对样品有特殊要求的缺陷,也解决了扭转共振模式下针尖与样品的垂直相互作用力大的问题。
PCT Attributes
Application Date2019-11-18
2020-02-07
Application NumberCN201911125440.9
Open (Notice) NumberCN110763873A
Language中文
Contribution Rank1
Document Type专利
Identifierhttp://ir.sia.cn/handle/173321/26269
Collection机器人学研究室
Affiliation中国科学院沈阳自动化研究所
Recommended Citation
GB/T 7714
刘连庆,施佳林,于鹏,等. 基于原子力显微镜技术的峰值力轻敲与扭转共振复合方法[P]. 2020-02-07.
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