SIA OpenIR  > 工业控制网络与系统研究室
一种涂胶显影设备运动参数检测装置及方法
金妮; 徐皑东; 刘明哲; 张吉龙; 王晨曦; 王锴; 王志平; 闫炳均; 胡波
Department工业控制网络与系统研究室
Rights Holder中国科学院沈阳自动化研究所
Patent Agent21002 沈阳科苑专利商标代理有限公司
Country中国
Subtype发明
Status公开
Abstract本发明涉及一种涂胶显影设备运动参数检测装置及方法,装置包括控制器、LK‑G30传感头、LK‑G500传感头、电源模块和上位机;方法包括在一个周期内,设定机械手的若干个设定位置,控制机械手运动到达设定位置,并通过LK‑G500传感头采样当前设定位置的到位信息,经过多个周期后得到到位信息数据集,分析到位信息数据集后提取到位信息特征值;设定晶圆的若干个设定转速,控制晶圆旋转达到设定转速,并通过LK‑G30传感头采样不同设定转速下的端跳数据,分析端跳数据集后提取端跳特征值。本发明对机械手重复定位精度进行检测,指导设备制造厂商的零部件选型和提高装备精度;对晶圆和真空卡盘在不同转速下的端跳变化规律进行检测。对工艺参数的优化也有着重要的指导作用。
PCT Attributes
Application Date2019-04-18
2020-10-27
Application NumberCN201910312487.X
Open (Notice) NumberCN111829433A
Language中文
Contribution Rank1
Document Type专利
Identifierhttp://ir.sia.cn/handle/173321/27804
Collection工业控制网络与系统研究室
Affiliation中国科学院沈阳自动化研究所
Recommended Citation
GB/T 7714
金妮,徐皑东,刘明哲,等. 一种涂胶显影设备运动参数检测装置及方法[P]. 2020-10-27.
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