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半导体装备控制系统公共IO服务接口研究
刘明哲; 徐皑冬; 康凯
Department工业控制系统研究室
Source Publication仪器仪表学报
ISSN0254-3087
2007
Volume28Issue:SPages:752-754
Contribution Rank1
Keyword公共io服务 半导体装备 现场总线 控制系统 接口 通信标准
Abstract半导体装备控制系统中,不同技术、多种通信标准的输入、输出控制方法共存,给控制系统的实现带来很大的麻烦.本文提出了一种基于统一架构的公共IO服务接口方法,为控制系统应用不必考虑具体通信技术细节而达到操作上的一致性提供一种思路。
Language中文
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.sia.cn/handle/173321/5022
Collection工业信息学研究室_工业控制系统研究室
Affiliation中国科学院沈阳自动化研究所
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GB/T 7714
刘明哲,徐皑冬,康凯. 半导体装备控制系统公共IO服务接口研究[J]. 仪器仪表学报,2007,28(S):752-754.
APA 刘明哲,徐皑冬,&康凯.(2007).半导体装备控制系统公共IO服务接口研究.仪器仪表学报,28(S),752-754.
MLA 刘明哲,et al."半导体装备控制系统公共IO服务接口研究".仪器仪表学报 28.S(2007):752-754.
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