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题名: 基于C#控件技术的IC装备控制系统的图形元素可视化实现
其他题名: Implement of Elements of Graphic Visualization in IC Equipment Control System Based on C# Control Technology
作者: 金妮 ; 徐皑冬 ; 刘明哲 ; 李正
作者部门: 工业信息学研究室
会议名称: 第二届亚太地区信息论学术会议
会议日期: November 4-6, 2011
会议地点: 浙江杭州
会议主办者: 中国电子学会信息论分会
会议录: 第二届亚太地区信息论学术会议论文集  
会议录出版者: 澳大利亚科学与教育出版社(Science and Education Press,AU)  
出版日期: 2011
页码: 65-68
关键词: C# ; IC装备 ; 可视化
摘要: 目前国内半导体厂投资已朝向300mm晶圆发展,其晶圆的生产工序日渐复杂,针对晶圆加工现场有很多数据需要在前台进行显示和处理,前台需要对设备的运行状态进行监控,及时反馈设备的运行信息的情况,本论文对半导体集成电路的生产制造设备(IC装备)控制系统的图形元素的可视化方法进行了研究。利用C#的控件技术,使晶圆加工过程中的设备和数据以可视化控件的方式来搭建IC装备控制系统的人机界面,并根据实际情况实现动画效果,使用户有身临其境的应用效果。这种基于C#控件技术的开发方法即可实现控件的重用和代码的共享,从而提高编程效率,便于分工协作、利于调试。  
语种: 中文
产权排序: 1
内容类型: 会议论文
URI标识: http://ir.sia.cn/handle/173321/8438
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金妮; 徐皑冬; 刘明哲; 李正;  .基于C#控件技术的IC装备控制系统的图形元素可视化实现.见:澳大利亚科学与教育出版社(Science and Education Press,AU)  .第二届亚太地区信息论学术会议论文集  ,,2011,65-68
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