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SIA OpenIR  > 沈阳自动化所知识产出(2000年前)  > 会议论文
题名: 用微动机器人群进行纳米加工技术的发展与未来
作者: 原培章 ; 李小凡 ; 王忠
作者部门: 中国科学院沈阳自动化研究所
会议名称: 微系统技术(MEMS)研讨会
会议日期: 2000
会议地点: 上海
会议录: 微系统技术(MEMS)研讨会论文集
出版日期: 2000
语种: 中文
产权排序: 1
内容类型: 会议论文
URI标识: http://ir.sia.cn/handle/173321/9700
Appears in Collections:沈阳自动化所知识产出(2000年前)_会议论文

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