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Structuring of carbon nanotubes for field emission based movement sensors
Loschek, Sergei; Hermann, Sascha; Yu HB(于海波); Schulz, Stefan E.; Gessner, Thomas
作者部门机器人学研究室
会议名称9th International Multi-Conference on Systems, Signals and Devices, SSD 2012
会议日期March 20-23, 2012
会议地点Chemnitz, Germany
会议录名称International Multi-Conference on Systems, Signals and Devices, SSD 2012 - Summary Proceedings
出版者IEEE Computer Society
出版地Piscataway, NJ
2012
页码3 pp.
收录类别EI
EI收录号20122315082446
产权排序3
ISBN号978-1-4673-1590-6
关键词Electrophoresis Field Emission Integration Sensors
摘要This paper addresses the exploitation of the field emitting properties of carbon nanotubes for movement sensor applications. To utilize this transducer principle a well defined gap between the field emitting carbon nanotubes and the counter electrode must be formed. Three different methods to dissect the dielectrophoretically deposited carbon nanotubes in a reproducible way are presented.
语种英语
文献类型会议论文
条目标识符http://ir.sia.cn/handle/173321/9877
专题机器人学研究室
作者单位1.Chemnitz University of Technology, Center for Microtechnologies, 09126 Chemnitz, Germany
2.Graduate University, Chinese Academy of Sciences, Beijing, China
3.State Key Laboratory of Robotics, Shenyang Institute of Automation, Chinese Academy of Sciences, 110016 Shenyang, China
4.Fraunhofer Institute for Electronic Nano Systems (Fraunhofer ENAS), 09126 Chemnitz, Germany
推荐引用方式
GB/T 7714
Loschek, Sergei,Hermann, Sascha,Yu HB,et al. Structuring of carbon nanotubes for field emission based movement sensors[C]. Piscataway, NJ:IEEE Computer Society,2012:3 pp..
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文件名: Structuring of carbon nanotubes for field emission based movement sensors.pdf
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