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真空机器人传输模组软件控制平台的构建 学位论文
硕士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2007
Authors:  潘萌
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真空机械手  集束型设备  传输模组  时间petri网  
真空机械手控制方法研究 学位论文
博士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2007
Authors:  谢冬梅
Microsoft Word(17954Kb)  |  Favorite  |  View/Download:393/11  |  Submit date:2010/11/29
集束型设备  真空机械手  轨迹控制  H∞控制  同步控制