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过程气相色谱仪故障智能诊断知识的框架表示 期刊论文
当代化工, 2018, 卷号: 47, 期号: 12, 页码: 2700-2703
Authors:  贾洋;  邹涛;  张世斌;  惠存万
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过程气相色谱仪  可靠性  故障智能诊断  人工智能  通用框架  
半导体制造过程R2R控制方法研究进展 期刊论文
现代制造工程, 2013, 期号: 3, 页码: 4-10,99
Authors:  王亮;  胡静涛;  王志艳
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半导体制造  过程控制  R2r控制方法  指数加权移动平均  预测控制  
CMP过程Run-to-Run预测控制方法研究 学位论文
博士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2012
Authors:  王亮
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半导体制造  化学机械研磨  Run-to-run控制  预测控制  过程控制  
基于灰色模型的CMP过程免疫预测R2R控制 期刊论文
仪器仪表学报, 2012, 卷号: 33, 期号: 2, 页码: 306-314
Authors:  王亮;  胡静涛
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化学机械研磨  灰色模型  克隆选择  预测控制  Run-to-run控制  
基于神经网络的CMP过程智能R2R预测控制 期刊论文
半导体技术, 2012, 卷号: 37, 期号: 4, 页码: 305-311
Authors:  王亮;  胡静涛
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化学机械研磨  径向基函数神经网络  预测控制  批次控制  微粒群滚动优化  
CMP过程多变量免疫预测R2R控制方法 期刊论文
仪器仪表学报, 2012, 卷号: 33, 期号: 11, 页码: 2586-2593
Authors:  王亮;  胡静涛
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化学机械研磨  R2r控制  最小二乘支持向量机  贝叶斯证据框架  克隆选择  预测控制  
基于模糊模型的CMP过程智能R2R预测控制方法 期刊论文
计算机测量与控制, 2012, 卷号: 20, 期号: 6, 页码: 1558-1561
Authors:  王亮;  胡静涛
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化学机械研磨  T-s模糊模型  批次控制  预测控制  克隆选择  
虚拟半导体集束设备软件设计与开发 学位论文
硕士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2008
Authors:  石泽兴
Microsoft Word(1275Kb)  |  Favorite  |  View/Download:468/25  |  Submit date:2010/11/29
半导体集束设备  验证  模拟  Petri网  Vrml