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便携式自主水下机器人及其模型预测控制方法研究 学位论文
博士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2018
Authors:  曾俊宝
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便携式AUV  动力学建模  预测控制  模型差估计  滑模预测控制  
ExtendSim仿真在半导体生产线动态调度研究中的应用 期刊论文
机械设计与制造, 2014, 期号: 1, 页码: 265-268
Authors:  王玉;  刘昶
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仿真  建模  Extendsim  半导体封装生产线  动态调度  
半导体制造过程R2R控制方法研究进展 期刊论文
现代制造工程, 2013, 期号: 3, 页码: 4-10,99
Authors:  王亮;  胡静涛;  王志艳
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半导体制造  过程控制  R2r控制方法  指数加权移动平均  预测控制  
CMP过程Run-to-Run预测控制方法研究 学位论文
博士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2012
Authors:  王亮
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半导体制造  化学机械研磨  Run-to-run控制  预测控制  过程控制  
基于LS-SVM模型和扰动估计的光刻过程智能R2R预测控制 期刊论文
计算机测量与控制, 2012, 卷号: 20, 期号: 8, 页码: 2124-2126, 2142
Authors:  王亮;  胡静涛
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光刻过程  最小二乘支持向量机  扰动估计  Run-to-run控制  预测控制  克隆选择  
真空机械手碰撞检测及轨迹优化 学位论文
博士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2011
Authors:  邹风山
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真空机械手  碰撞检测  轨迹规划  开放式控制系统  
光刻过程RtR控制方法研究进展分析 期刊论文
半导体技术, 2011, 卷号: 36, 期号: 3, 页码: 199-205
Authors:  王亮;  胡静涛
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半导体制造业  光刻过程  Rtr控制  过程控制  模型预测控制  多变量控制器  控制方法  研究进展  关键尺寸  过程建模  
多集束型装备调度的k晶圆周期序列问题 期刊论文
计算机集成制造系统, 2010, 卷号: 16, 期号: 1, 页码: 109-114
Authors:  李林瑛;  胡静涛
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半导体制造  多集束型装备  双臂机械手  缓冲加工模块  并行机  调度  
虚拟半导体集束设备软件设计与开发 学位论文
硕士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2008
Authors:  石泽兴
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半导体集束设备  验证  模拟  Petri网  Vrml  
基于SPC和数据挖掘的总装过程质量控制研究 学位论文
硕士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2007
Authors:  周小敏
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Mes  统计过程控制  数据挖掘  控制图  质量管理