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一种涂胶显影设备运动参数检测装置及方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN111829433A, 公开日期: 2020-10-27,
Inventors:  金妮;  徐皑东;  刘明哲;  张吉龙;  王晨曦;  王锴;  王志平;  闫炳均;  胡波
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基于 Actor-Critic 算法实现机器人柔性负载系统的振动抑制 学位论文
专业学位硕士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2020
Authors:  李璐君
Adobe PDF(2902Kb)  |  Favorite  |  View/Download:63/5  |  Submit date:2020/06/27
机器人  Actor-Critic算法  柔性负载  振动抑制  强化学习  
工业互联网应用协议及数据互认标准进展与分析 期刊论文
仪器仪表标准化与计量, 2020, 期号: 5, 页码: 11-14, 19
Authors:  刘阳;  李栋;  张天石;  曾鹏
Adobe PDF(1905Kb)  |  Favorite  |  View/Download:12/0  |  Submit date:2020/11/14
工业互联网  应用协议  数据互认  
基于序列认知的工艺数据异常检测方法研究 学位论文
硕士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2019
Authors:  石贺
Adobe PDF(1941Kb)  |  Favorite  |  View/Download:95/1  |  Submit date:2019/07/14
工业控制系统  异常检测系统  集成机器学习模型  自编码神经网络  长短期记忆神经网络  
光诱导微纳一体化制造方法及其应用 学位论文
博士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2015
Authors:  刘娜
Adobe PDF(7220Kb)  |  Favorite  |  View/Download:407/43  |  Submit date:2015/12/25
光诱导电液动力学  光诱导介电泳力  微纳米材料的操控和装配  光诱导电沉积  法拉第反应  微纳器件制造  
扫描探针显微镜研制中的若干关键技术研究 学位论文
博士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2015
Authors:  王栋
Adobe PDF(7749Kb)  |  Favorite  |  View/Download:698/16  |  Submit date:2015/08/20
扫描探针显微镜  原子力显微镜  关键技术  迟滞前馈校正  幅值检测  
面向自动化微装配系统的三维微力信息感知方法研究 学位论文
硕士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2015
Authors:  马超哲
Adobe PDF(1482Kb)  |  Favorite  |  View/Download:223/5  |  Submit date:2015/08/20
微装配  微接触力  Pvdf  3-d传感器  Sub-μn传感器  
基于拉格朗日松弛的混合流水车间优化调度研究 学位论文
硕士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2015
Authors:  丁小丽
Adobe PDF(1539Kb)  |  Favorite  |  View/Download:280/8  |  Submit date:2015/08/20
混合流水车间  拉格朗日松弛  调度  
一种多腔室晶圆加工设备传输控制系统 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN104281095A, 公开日期: 2015-01-14,
Inventors:  刘明哲;  徐皑冬;  王亚楠;  金妮;  王晨曦;  刘元锋
Adobe PDF(1568Kb)  |  Favorite  |  View/Download:243/65  |  Submit date:2015/01/20
晶圆表面微米级缺陷检测 期刊论文
计算机工程与设计, 2015, 卷号: 36, 期号: 6, 页码: 1671-1675
Authors:  戴敬;  肖朋;  杨志家;  马继开
Adobe PDF(556Kb)  |  Favorite  |  View/Download:245/85  |  Submit date:2015/09/15
晶圆缺陷检测  差影  双模版匹配  多重中值滤波  鲁棒性