SIA OpenIR

Browse/Search Results:  1-10 of 77 Help

Selected(0)Clear Items/Page:    Sort:
基于序列认知的工艺数据异常检测方法研究 学位论文
硕士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2019
Authors:  石贺
Adobe PDF(1941Kb)  |  Favorite  |  View/Download:1/0  |  Submit date:2019/07/14
工业控制系统  异常检测系统  集成机器学习模型  自编码神经网络  长短期记忆神经网络  
光诱导微纳一体化制造方法及其应用 学位论文
博士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2015
Authors:  刘娜
Adobe PDF(7220Kb)  |  Favorite  |  View/Download:326/33  |  Submit date:2015/12/25
光诱导电液动力学  光诱导介电泳力  微纳米材料的操控和装配  光诱导电沉积  法拉第反应  微纳器件制造  
扫描探针显微镜研制中的若干关键技术研究 学位论文
博士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2015
Authors:  王栋
Adobe PDF(7749Kb)  |  Favorite  |  View/Download:532/13  |  Submit date:2015/08/20
扫描探针显微镜  原子力显微镜  关键技术  迟滞前馈校正  幅值检测  
面向自动化微装配系统的三维微力信息感知方法研究 学位论文
硕士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2015
Authors:  马超哲
Adobe PDF(1482Kb)  |  Favorite  |  View/Download:183/4  |  Submit date:2015/08/20
微装配  微接触力  Pvdf  3-d传感器  Sub-μn传感器  
基于拉格朗日松弛的混合流水车间优化调度研究 学位论文
硕士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2015
Authors:  丁小丽
Adobe PDF(1539Kb)  |  Favorite  |  View/Download:187/7  |  Submit date:2015/08/20
混合流水车间  拉格朗日松弛  调度  
一种多腔室晶圆加工设备传输控制系统 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2015-01-14,
Inventors:  刘明哲;  徐皑冬;  王亚楠;  金妮;  王晨曦;  刘元锋
View  |  Adobe PDF(1568Kb)  |  Favorite  |  View/Download:218/61  |  Submit date:2015/01/20
晶圆表面微米级缺陷检测 期刊论文
计算机工程与设计, 2015, 卷号: 36, 期号: 6, 页码: 1671-1675
Authors:  戴敬;  肖朋;  杨志家;  马继开
View  |  Adobe PDF(556Kb)  |  Favorite  |  View/Download:191/71  |  Submit date:2015/09/15
晶圆缺陷检测  差影  双模版匹配  多重中值滤波  鲁棒性  
基于微纳操控的石墨烯纳米器件制造基础理论与关键技术研究 学位论文
博士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2014
Authors:  张嵛
Adobe PDF(9546Kb)  |  Favorite  |  View/Download:279/16  |  Submit date:2015/08/20
纳米操作机器人  原子力显微镜  石墨烯  密度泛函理论  光诱导介电泳  纳米器件  
半导体封装生产线排产方法研究与实现 学位论文
硕士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2014
Authors:  王玉
Adobe PDF(1471Kb)  |  Favorite  |  View/Download:128/2  |  Submit date:2015/08/20
半导体封装生产线  生产排产  多叉树随机森林算法  排产系统  
半导体封装测试生产线调度方法研究 学位论文
博士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2014
Authors:  姚丽丽
Adobe PDF(13296Kb)  |  Favorite  |  View/Download:346/20  |  Submit date:2014/07/18
半导体封装测试  生产调度  投料控制  静态调度  重调度