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一种基于CAN总线的胶泵控制系统及其控制方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN104675684A, 公开日期: 2015-06-03, 授权日期: 2017-03-01
Inventors:  胡静涛;  张吉龙;  曹云侠;  迟浩东;  白晓平;  胡和春
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一种多腔室晶圆加工设备传输控制系统 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN104281095A, 公开日期: 2015-01-14,
Inventors:  刘明哲;  徐皑冬;  王亚楠;  金妮;  王晨曦;  刘元锋
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基于Web的室内实时定位地图系统的研究与实现 期刊论文
计算机应用, 2015, 卷号: 35, 期号: S2, 页码: 290-293
Authors:  刘秦宁;  刘明哲;  徐皑冬;  金妮
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实时定位地图  Web服务  室内定位  Sharpmap  Canvas  
一种基于CAN总线的胶泵控制系统 专利
专利类型: 实用新型, 专利号: CN203730271U, 公开日期: 2014-07-23, 授权日期: 2014-07-23
Inventors:  胡静涛;  张吉龙;  曹云侠;  迟浩东;  白晓平;  胡和春
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半导体装备物料传输软件平台研究与开发 学位论文
硕士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2013
Authors:  王亚楠
Adobe PDF(1383Kb)  |  Favorite  |  View/Download:395/8  |  Submit date:2013/08/19
半导体装备  软件平台  工厂自动化  物料传输系统  
SNMP在半导体装备控制系统中的应用 期刊论文
机械设计与制造, 2013, 期号: 1, 页码: 72-74
Authors:  王亚楠;  刘明哲;  叶家发
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简单网络管理协议  snmp++开发包  半导体  通信系统  一致性需求  不间断电源  
面向半导体设备的Interface A通信技术研究与开发 学位论文
硕士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2012
Authors:  叶家发
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工厂自动化  Semi  Interface a  设备数据采集  
并行集束型半导体装备稳态吞吐量模型研究 期刊论文
半导体技术, 2012, 卷号: 37, 期号: 11, 页码: 869-873
Authors:  郑秀红;  胡静涛
Adobe PDF(386Kb)  |  Favorite  |  View/Download:493/125  |  Submit date:2012/12/28
并行  集束型装备  吞吐量  模型  晶圆  
集束型半导体装备建模与仿真技术研究 学位论文
博士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2011
Authors:  郑秀红
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半导体制造  集束型  随机petri网  建模  仿真  
半导体装备控制系统公共IO服务接口研究 期刊论文
仪器仪表学报, 2007, 卷号: 28, 期号: S, 页码: 752-754
Authors:  刘明哲;  徐皑冬;  康凯
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公共io服务  半导体装备  现场总线  控制系统  接口  通信标准