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| 一种基于CAN总线的胶泵控制系统及其控制方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN104675684A, 公开日期: 2015-06-03, 授权日期: 2017-03-01
Inventors: 胡静涛 ; 张吉龙; 曹云侠; 迟浩东; 白晓平; 胡和春
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| 一种多腔室晶圆加工设备传输控制系统 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN104281095A, 公开日期: 2015-01-14,
Inventors: 刘明哲; 徐皑冬; 王亚楠; 金妮; 王晨曦; 刘元锋
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| 基于Web的室内实时定位地图系统的研究与实现 期刊论文
计算机应用, 2015, 卷号: 35, 期号: S2, 页码: 290-293
Authors: 刘秦宁; 刘明哲; 徐皑冬; 金妮
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实时定位地图 Web服务 室内定位 Sharpmap Canvas |
| 一种基于CAN总线的胶泵控制系统 专利
专利类型: 实用新型, 专利号: CN203730271U, 公开日期: 2014-07-23, 授权日期: 2014-07-23
Inventors: 胡静涛; 张吉龙; 曹云侠; 迟浩东; 白晓平; 胡和春
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| 半导体装备物料传输软件平台研究与开发 学位论文
硕士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2013
Authors: 王亚楠
Adobe PDF(1383Kb) | Favorite | View/Download：395/8 | Submit date：2013/08/19
半导体装备 软件平台 工厂自动化 物料传输系统 |
| SNMP在半导体装备控制系统中的应用 期刊论文
机械设计与制造, 2013, 期号: 1, 页码: 72-74
Authors: 王亚楠; 刘明哲; 叶家发
Adobe PDF(356Kb) | Favorite | View/Download：395/101 | Submit date：2013/04/21
简单网络管理协议 snmp++开发包 半导体 通信系统 一致性需求 不间断电源 |
| 面向半导体设备的Interface A通信技术研究与开发 学位论文
硕士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2012
Authors: 叶家发
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工厂自动化 Semi Interface a 设备数据采集 |
| 并行集束型半导体装备稳态吞吐量模型研究 期刊论文
半导体技术, 2012, 卷号: 37, 期号: 11, 页码: 869-873
Authors: 郑秀红; 胡静涛
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并行 集束型装备 吞吐量 模型 晶圆 |
| 集束型半导体装备建模与仿真技术研究 学位论文
博士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2011
Authors: 郑秀红
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半导体制造 集束型 随机petri网 建模 仿真 |
| 半导体装备控制系统公共IO服务接口研究 期刊论文
仪器仪表学报, 2007, 卷号: 28, 期号: S, 页码: 752-754
Authors: 刘明哲; 徐皑冬; 康凯
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公共io服务 半导体装备 现场总线 控制系统 接口 通信标准 |
