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| 集成电路封装测试行业的生产设备管理系统设计 期刊论文
科技广场, 2016, 期号: 3, 页码: 47-49
Authors: 马兆宁; 王巍
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分析决策 信息采集 集成电路封装测试 |
| 一种多腔室晶圆加工设备传输控制系统 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN104281095A, 公开日期: 2015-01-14,
Inventors: 刘明哲; 徐皑冬; 王亚楠; 金妮; 王晨曦; 刘元锋
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| 面向半导体制造设备的数据采集实现方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN103491059A, 公开日期: 2014-01-01,
Inventors: 刘明哲; 徐皑冬; 叶家发; 王亚楠
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| 对称双连杆型真空机械手的动力学建模与控制研究 学位论文
博士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2013
Authors: 黄玉钏
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真空机械手 运动学建模 轨迹规划 非均匀b 样条曲线 动力学建模 拉格朗日方法 模型预测控制 |
| 半导体设备前端模块关键技术的研究与应用 学位论文
硕士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2013
Authors: 褚金钱
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装载端口 预对准 坐标系标定 |
| 半导体装备物料传输软件平台研究与开发 学位论文
硕士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2013
Authors: 王亚楠
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半导体装备 软件平台 工厂自动化 物料传输系统 |
| 基于连杆理论的装载端口开门机构设计与运动学仿真 期刊论文
中国机械工程, 2013, 卷号: 24, 期号: 17, 页码: 2362-2367
Authors: 褚金钱; 徐方
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装载端口 仿真模型 平面连杆机构 运动学 |
| 基于Win32的动态线程池技术研究与应用 期刊论文
小型微型计算机系统, 2013, 卷号: 34, 期号: S, 页码: 45-48
Authors: 张吉龙; 胡静涛
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动态线程池 缓冲机制 Win32 设备前端模块 |
| SNMP在半导体装备控制系统中的应用 期刊论文
机械设计与制造, 2013, 期号: 1, 页码: 72-74
Authors: 王亚楠; 刘明哲; 叶家发
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简单网络管理协议 snmp++开发包 半导体 通信系统 一致性需求 不间断电源 |
| 面向数据角色的以太网确定性数据传输方法 专利
专利类型: 发明授权, 专利号: CN102843390B, 公开日期: 2012-12-26, 授权日期: 2015-09-09
Inventors: 王锴; 徐皑冬; 刘明哲
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