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半导体装备物料传输软件平台研究与开发 学位论文
硕士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2013
Authors:  王亚楠
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半导体装备  软件平台  工厂自动化  物料传输系统  
集束型半导体制造装备优化调度问题研究 学位论文
博士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2010
Authors:  李林瑛
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半导体制造  集束型装备  数学规划模型  调度算法  集束型装备控制系统  
虚拟半导体集束设备软件设计与开发 学位论文
硕士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2008
Authors:  石泽兴
Microsoft Word(1275Kb)  |  Favorite  |  View/Download:468/25  |  Submit date:2010/11/29
半导体集束设备  验证  模拟  Petri网  Vrml  
半导体设备SECS/GEM通信软件的开发 学位论文
硕士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2007
Authors:  邓珂
Microsoft Word(994Kb)  |  Favorite  |  View/Download:1421/49  |  Submit date:2010/11/29
Hsms  Secs-ii  Gem  集束设备  
基于启发式搜索的半导体集束设备调度 期刊论文
仪器仪表学报, 2007, 卷号: 28, 期号: S, 页码: 545-548
Authors:  耿沿锋;  康凯;  王宏
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集束设备  调度  启式搜索