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多维度微纳米尺度观测方法研究 学位论文
博士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2012
Authors:  魏阳杰
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微纳米观测  扫描探针显微镜  模糊测度3d重构  微运动测量  Aln聚焦超声传感器  
一种具有纳米定位精度的四自由度微动平台的研制 期刊论文
机器人, 2003, 卷号: 25, 期号: 3, 页码: 213-216
Authors:  张江波;  朱涛;  王越超;  谈大龙
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微机器人  压电陶瓷微驱动  微装配  微操作