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生物柴油酯交换反应过程的优化与控制策略研究 学位论文
博士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2014
Authors:  史洪岩
Adobe PDF(2371Kb)  |  Favorite  |  View/Download:252/5  |  Submit date:2015/08/20
生物柴油  酯交换反应  动态优化  双层结构预测控制  响应面优化  
半导体制造过程R2R控制方法研究进展 期刊论文
现代制造工程, 2013, 期号: 3, 页码: 4-10,99
Authors:  王亮;  胡静涛;  王志艳
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半导体制造  过程控制  R2r控制方法  指数加权移动平均  预测控制  
CMP过程Run-to-Run预测控制方法研究 学位论文
博士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2012
Authors:  王亮
Adobe PDF(1410Kb)  |  Favorite  |  View/Download:742/16  |  Submit date:2012/07/27
半导体制造  化学机械研磨  Run-to-run控制  预测控制  过程控制  
CMP过程多变量免疫预测R2R控制方法 期刊论文
仪器仪表学报, 2012, 卷号: 33, 期号: 11, 页码: 2586-2593
Authors:  王亮;  胡静涛
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化学机械研磨  R2r控制  最小二乘支持向量机  贝叶斯证据框架  克隆选择  预测控制  
PCS7在Mini Plant实验系统中的应用 会议论文
2011西门子自动化专家会议论文集, 厦门, 2011年12月1日
Authors:  宋琳;  谷亮
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软件测试  模型预测控制器  控制功能  可靠性  
光刻过程RtR控制方法研究进展分析 期刊论文
半导体技术, 2011, 卷号: 36, 期号: 3, 页码: 199-205
Authors:  王亮;  胡静涛
Adobe PDF(359Kb)  |  Favorite  |  View/Download:590/196  |  Submit date:2012/05/29
半导体制造业  光刻过程  Rtr控制  过程控制  模型预测控制  多变量控制器  控制方法  研究进展  关键尺寸  过程建模  
控制性能评估 期刊论文
吉林大学学报(工学版), 2004, 卷号: 34, 期号: S, 页码: 80-83
Authors:  苑明哲;  于海斌;  王宏;  周悦
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现场总线  控制性能评估  最小方差控制