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光诱导微纳一体化制造方法及其应用 学位论文
博士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2015
Authors:  刘娜
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光诱导电液动力学  光诱导介电泳力  微纳米材料的操控和装配  光诱导电沉积  法拉第反应  微纳器件制造