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人工智能算法在机械设备运行趋势预测中的应用 期刊论文
仪器仪表标准化与计量, 2020, 期号: 4, 页码: 5-6, 20
Authors:  孙志成;  曾鹏;  翟畅
View  |  Adobe PDF(2009Kb)  |  Favorite  |  View/Download:20/4  |  Submit date:2020/09/12
人工智能  智慧工厂  机械设备  趋势预测  
工业过程感知序列预处理及融合方法研究 学位论文
博士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2014
Authors:  苏卫星
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时间序列  数据预处理  多源信息融合  异常检测  突变检测  
面向工厂自动化无线网络的时间同步方法 期刊论文
计算机研究与发展, 2014, 卷号: 51, 期号: 3, 页码: 511-518
Authors:  杨雨沱;  梁炜;  张晓玲;  刘帅
View  |  Adobe PDF(598Kb)  |  Favorite  |  View/Download:358/50  |  Submit date:2014/04/16
工厂自动化  无线网络  时间同步  802.11  时分多址  双向同步  预测补偿  
面向硬实时工业无线网络的高精度时间同步方法研究与实现 学位论文
硕士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2013
Authors:  杨雨沱
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工业无线网络  工厂自动化无线网络  Ieee 802.1  Tdma  时间同步  
半导体制造过程R2R控制方法研究进展 期刊论文
现代制造工程, 2013, 期号: 3, 页码: 4-10,99
Authors:  王亮;  胡静涛;  王志艳
View  |  Adobe PDF(661Kb)  |  Favorite  |  View/Download:378/74  |  Submit date:2013/10/05
半导体制造  过程控制  R2r控制方法  指数加权移动平均  预测控制  
CMP过程Run-to-Run预测控制方法研究 学位论文
博士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2012
Authors:  王亮
Adobe PDF(1410Kb)  |  Favorite  |  View/Download:751/18  |  Submit date:2012/07/27
半导体制造  化学机械研磨  Run-to-run控制  预测控制  过程控制  
CMP过程多变量免疫预测R2R控制方法 期刊论文
仪器仪表学报, 2012, 卷号: 33, 期号: 11, 页码: 2586-2593
Authors:  王亮;  胡静涛
View  |  Adobe PDF(1553Kb)  |  Favorite  |  View/Download:486/98  |  Submit date:2012/12/28
化学机械研磨  R2r控制  最小二乘支持向量机  贝叶斯证据框架  克隆选择  预测控制  
面向工业无线传感器网络的链路质量实时评估算法 期刊论文
小型微型计算机系统, 2012, 卷号: 33, 期号: 5, 页码: 1079-1082
Authors:  王广杰;  曾鹏;  肖金超
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链路质量评估  实时  无冗余  工业无线  
基于LS-SVM的光刻过程R2R预测控制方法 期刊论文
半导体技术, 2012, 卷号: 37, 期号: 6, 页码: 482-488
Authors:  王亮;  胡静涛
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光刻过程  关键尺寸  最小二乘支持向量机  预测控制  批次控制  微粒群算法  
基于模糊模型的CMP过程智能R2R预测控制方法 期刊论文
计算机测量与控制, 2012, 卷号: 20, 期号: 6, 页码: 1558-1561
Authors:  王亮;  胡静涛
View  |  Adobe PDF(1700Kb)  |  Favorite  |  View/Download:445/85  |  Submit date:2012/12/28
化学机械研磨  T-s模糊模型  批次控制  预测控制  克隆选择