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无线供能磁驱动微型机器人及操控方法研究 学位论文
博士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2019
Authors:  王敬依
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微型机器人  磁驱动系统  视觉反馈  自动控制  无线能量传输  
薄膜微电极在热键合过程中的断裂行为研究 期刊论文
机械设计与制造, 2013, 期号: 12, 页码: 131-134
Authors:  乔红超;  刘军山;  赵吉宾;  王立鼎
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微流控芯片  热键合  微电极  断口分析  断裂机理  
基于MEMS与AFM的纳米管道系统制作方法研究 学位论文
博士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2011
Authors:  王志迁
Adobe PDF(5381Kb)  |  Favorite  |  View/Download:448/20  |  Submit date:2012/07/27
原子力显微镜  纳米管道  纳流控  微流控  阳极键合