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单臂SCARA手的动力学建模与参数辨识 期刊论文
机械设计与制造, 2016, 期号: 3, 页码: 82-85
Authors:  赵彬;  邹风山;  刘晓帆;  刘振宇
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真空机械手  参数辨识  拉格朗日  动力学  
FROG-LEG型真空机械手的动力学建模与仿真 期刊论文
中国机械工程, 2014, 卷号: 25, 期号: 4, 页码: 471-475, 490
Authors:  黄玉钏;  曲道奎;  徐方
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真空机械手  运动学  牛顿-欧拉法  动力学仿真  
单臂SCARA真空手运动学建模与仿真 期刊论文
机械设计与制造, 2014, 期号: 8, 页码: 183-185
Authors:  赵彬;  刘振宇 邹风山;  蒋哲文
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真空手  单臂scara  仿真平台  运动学  Robot工具箱  
对称双连杆型真空机械手的动力学建模与控制研究 学位论文
博士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2013
Authors:  黄玉钏
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真空机械手  运动学建模  轨迹规划  非均匀b 样条曲线  动力学建模  拉格朗日方法  模型预测控制  
半导体设备前端模块关键技术的研究与应用 学位论文
硕士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2013
Authors:  褚金钱
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装载端口  预对准  坐标系标定  
半导体装备物料传输软件平台研究与开发 学位论文
硕士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2013
Authors:  王亚楠
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半导体装备  软件平台  工厂自动化  物料传输系统  
FROG-LEG型真空机械手的动力学控制研究 期刊论文
四川大学学报(工程科学版), 2013, 卷号: 45, 期号: 3, 页码: 158-163
Authors:  黄玉钏;  曲道奎;  徐方
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真空机械手  动力学  拉格朗日方程  转子磁链定向  动力学仿真  
并行集束型半导体装备稳态吞吐量模型研究 期刊论文
半导体技术, 2012, 卷号: 37, 期号: 11, 页码: 869-873
Authors:  郑秀红;  胡静涛
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并行  集束型装备  吞吐量  模型  晶圆  
真空机械手碰撞检测及轨迹优化 学位论文
博士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2011
Authors:  邹风山
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真空机械手  碰撞检测  轨迹规划  开放式控制系统  
直驱型真空机械手控制方法研究 学位论文
博士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2010
Authors:  黄梁松
Adobe PDF(2304Kb)  |  Favorite  |  View/Download:520/17  |  Submit date:2012/07/27
直驱型真空机械手  三相独立h桥  低频谐振控制  机械手模型  模型校正控制