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对称双连杆型真空机械手的动力学建模与控制研究 学位论文
博士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2013
Authors:  黄玉钏
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真空机械手  运动学建模  轨迹规划  非均匀b 样条曲线  动力学建模  拉格朗日方法  模型预测控制  
面向半导体设备的Interface A通信技术研究与开发 学位论文
硕士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2012
Authors:  叶家发
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工厂自动化  Semi  Interface a  设备数据采集  
真空机械手碰撞检测及轨迹优化 学位论文
博士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2011
Authors:  邹风山
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真空机械手  碰撞检测  轨迹规划  开放式控制系统  
直驱型真空机械手控制方法研究 学位论文
博士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2010
Authors:  黄梁松
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直驱型真空机械手  三相独立h桥  低频谐振控制  机械手模型  模型校正控制  
集束型半导体制造装备优化调度问题研究 学位论文
博士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2010
Authors:  李林瑛
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半导体制造  集束型装备  数学规划模型  调度算法  集束型装备控制系统  
引入周期性维护的基束型装备SPN模型及仿真 期刊论文
计算机仿真, 2010, 卷号: 27, 期号: 11, 页码: 354-358
Authors:  郑秀红;  于海斌;  胡静涛
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集束型装备  故障  周期性维护  模型  仿真  
半导体制造两集束型装备调度模型和算法研究 期刊论文
系统仿真学报, 2010, 卷号: 22, 期号: 8, 页码: 1942-1946
Authors:  李林瑛;  胡静涛
Adobe PDF(955Kb)  |  Favorite  |  View/Download:494/133  |  Submit date:2012/05/29
半导体制造  两集束型装备  调度  线性规划模型  
基于SEMI标准的SECS通信方法 专利
专利类型: 发明授权, 专利号: CN101552794B, 公开日期: 2009-10-07, 授权日期: 2011-12-14
Inventors:  于海斌;  王宏;  林跃;  徐皑冬;  周建辉;  康凯;  刘明哲;  王水涛
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基于SEMI标准的SECS通信方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN101552794A, 公开日期: 2009-10-07, 授权日期: 2011-12-14
Inventors:  于海斌;  王宏;  林跃;  徐皑冬;  周建辉;  康凯;  刘明哲;  王水涛
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虚拟半导体集束设备软件设计与开发 学位论文
硕士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2008
Authors:  石泽兴
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半导体集束设备  验证  模拟  Petri网  Vrml